期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
非晶硅缓冲层在具有Al_2O_3门绝缘子的多晶SiGeTFT中的作用
1
作者 王文 金中和 郭海成 《现代显示》 1999年第4期4-7,共4页
ＳｉＧｅ 合金具有较高的载流子迁移率与较低的结晶温度， 比Ｓｉ 更适合用作薄膜晶体管（ ＴＦＴ） 。最近，我们已证实，利用Ａｌ２Ｏ３ 作多晶ＳｉＧｅ ＴＦＴ的门绝缘子，可使界面得到显著改善。虽然已经证明，由Ｓｉ 缓冲层的高温... ＳｉＧｅ 合金具有较高的载流子迁移率与较低的结晶温度， 比Ｓｉ 更适合用作薄膜晶体管（ ＴＦＴ） 。最近，我们已证实，利用Ａｌ２Ｏ３ 作多晶ＳｉＧｅ ＴＦＴ的门绝缘子，可使界面得到显著改善。虽然已经证明，由Ｓｉ 缓冲层的高温氧化形成的ＳｉＯ２ 可改善界面质量，但是还不清楚在ＳｉＧｅ 有源层与Ａｌ２Ｏ３ 门电介质之间插入一α＿Ｓｉ 缓冲层能否进一步提高界面的质量。在本研究中，对于有、无α＿Ｓｉ 缓冲层的多晶ＳｉＧｅ ＴＦＴ 展开更多
关键词 缓冲层 Al2O3门绝缘子 多晶sigetft 薄膜晶体管
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部