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椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量 被引量：1
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作者 杜泉 邓学儒 郭文胜 《四川师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期687-690,共4页
应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品,讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合,表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度,并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系.
关键词 椭偏光谱仪 类金刚石薄膜 sp^3/sp^2 多样品分析法
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