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玻璃基片上双层多模光波导的制备 被引量:3
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作者 郝寅雷 曾福林 +4 位作者 王志坚 胡文学 陈斯聪 杨建义 王明华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第10期3000-3004,共5页
在光学玻璃基片上制作了双层掩埋式多模光波导芯片,这种芯片中的上、下两层光波导均通过熔盐离子交换和电场辅助离子迁移形成。对光波导的横截面以及输出光斑进行了观察,并进行了损耗和串扰测试。研究结果表明:双层多模光波导芯片中上... 在光学玻璃基片上制作了双层掩埋式多模光波导芯片,这种芯片中的上、下两层光波导均通过熔盐离子交换和电场辅助离子迁移形成。对光波导的横截面以及输出光斑进行了观察,并进行了损耗和串扰测试。研究结果表明:双层多模光波导芯片中上、下两层光波导芯部横截面尺寸分别为29μm×19μm和31μm×20μm;两层波导的输出光斑尺寸相互匹配;两层波导传输损耗分别为1.00±0.32 d B/cm和0.78±0.35 d B/cm;两层光波导之间的串扰在17.7d B左右。这种玻璃基片上的双层多模光波导可以使板级光互连的互连密度增大一倍,提高EOCB的性能。 展开更多
关键词 玻璃 离子交换 多模光波导 光互连
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交叉多模光波导传输特性分析 被引量:4
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作者 夏倩 李康 +5 位作者 庞拂飞 张小贝 王廷云 赵丽 刘哲 张佩华 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期966-970,共5页
针对交叉多模光波导结构,基于光束传输法(Beam Propagation Method,BPM)对其传输特性进行了分析,通过对方形多模光波导模式Ep,qx的分析发现,对于相同的模式序数p,随着传输模式阶数q的增加,交叉光波导的传输特性基本保持不变;随着模式序... 针对交叉多模光波导结构,基于光束传输法(Beam Propagation Method,BPM)对其传输特性进行了分析,通过对方形多模光波导模式Ep,qx的分析发现,对于相同的模式序数p,随着传输模式阶数q的增加,交叉光波导的传输特性基本保持不变;随着模式序数p的增加,小的交叉角度更易引起交叉光波导的相互干扰。 展开更多
关键词 光印刷电路板 光互连 多模交叉光波 光束传输法
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环氧树脂多模光波导的研制
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作者 刘涛 杨敏 +2 位作者 蒋志 李志山 王书荣 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1468-1472,共5页
以环氧树脂为材料,用简单、低成本的非接触式光刻法制作多模光波导。通过实验,找出一种可靠有效的有机溶剂作为显影剂及其相应的显影时间;并研究了温湿度和旋涂工艺对光波导厚度的影响;以及光刻掩模版透光部分宽度、光刻掩模版与下包层... 以环氧树脂为材料,用简单、低成本的非接触式光刻法制作多模光波导。通过实验,找出一种可靠有效的有机溶剂作为显影剂及其相应的显影时间;并研究了温湿度和旋涂工艺对光波导厚度的影响;以及光刻掩模版透光部分宽度、光刻掩模版与下包层之间的间距、曝光光强和曝光时间对光波导宽度的影响。扫描电子显微镜(SEM)对样品形貌分析表明,脊形光波导表面光滑且侧壁笔直,光波导芯横截面约为50μm×50μm。采用cut-back法,测出环氧树脂多模光波导的传输损耗为0.1dB/cm@850nm。考虑到光电集成过程中对光波导的高温冲击,对样品进行了热稳定性试验,获得的最高稳定温度为210℃。 展开更多
关键词 非接触式光刻 多模光波导 环氧树脂 光损耗 热稳定性
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多模干涉光波导型微流控液体折射率监测用芯片的设计 被引量:3
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作者 高仁喜 范光华 +1 位作者 陈抱雪 曲士良 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1180-1183,共4页
将微流控结构和光波导多模干涉(MMI)结构功能结合在一起,利用导波的多模干涉效应,对微通道中的液体变化进行实时监测。液体中成分或浓度的变化导致液体的折射率变化,通过监测MMI的输出波导的功率,得到液体折射率的变化,从而得到液体成... 将微流控结构和光波导多模干涉(MMI)结构功能结合在一起,利用导波的多模干涉效应,对微通道中的液体变化进行实时监测。液体中成分或浓度的变化导致液体的折射率变化,通过监测MMI的输出波导的功率,得到液体折射率的变化,从而得到液体成分浓度的变化。计算模拟显示,对液体的折射率变化灵敏度可达到0.0001。对不同流量的要求,提出了两种微流控结构和光波导MMI复合结构,有望在微流控生化分析芯片中得到应用。 展开更多
关键词 测量 微流控芯片 多模干涉光波 液体 折射率
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Design of MMI 1×8 Optical Power Splitters Used Si-based SiO_2 Waveguide
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作者 WUXiao-jing LUOFeng-guang 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第3期168-173,共6页
An initial structure design of MMI 1×8 optical power splitters is reported.The waveguide material is Si-based SiO2 Ge-doped and deposited by PECVD method.Embedded strip structure is implied in the section design.... An initial structure design of MMI 1×8 optical power splitters is reported.The waveguide material is Si-based SiO2 Ge-doped and deposited by PECVD method.Embedded strip structure is implied in the section design.By using BPM-CAD,a favorable result is obtained that this device has a sound uniformity and fairly low loss.Meanwhile,simulations of designs with certain changed parameters is also implemented for a better design configuration. 展开更多
关键词 Optical power splitter Multimode interference WAVEGUIDE
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