多模干涉光波导型微流控液体折射率监测用芯片的设计

将微流控结构和光波导多模干涉(MMI)结构功能结合在一起,利用导波的多模干涉效应,对微通道中的液体变化进行实时监测。液体中成分或浓度的变化导致液体的折射率变化,通过监测MMI的输出波导的功率,得到液体折射率的变化,从而得到液体成分浓度的变化。计算模拟显示,对液体的折射率变化灵敏度可达到0.0001。对不同流量的要求,提出了两种微流控结构和光波导MMI复合结构,有望在微流控生化分析芯片中得到应用。