浅谈多步扩散制备太阳电池PN结工艺

针对太阳能电池PN结制备技术,本文分析工艺设计过程中,硅片磷浓度分布情况会给电池性能造成极大的影响。现有的太阳电池PN结制备工艺中,多步扩散制备工艺具有较强的应用优势,能够减少死层,增加电活性磷掺杂量。文中重点对多步扩散制备工艺的应用相关问题,以及硅基薄膜多结太阳能制备的其他工艺,做了简单的论述分析。