纳米光刻技术

1 前言纳米技术(nanoscalc tcchnology)是一门在0.1-100nm,尺度空间内,研究电子、原子、分子运动规律和特性的崭新高技术学科.它的最终目标是人类按照自己的意志直接操纵单个原子,制造具有特定功能的产品.其中纳米制造学是纳米技术的关键基础,它贯穿整个纳米科学.随着信息高速公路和全球通信技术的高度发展,超高频纳米器件的出现。