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题名多环谐振式微机械陀螺频率跟踪电路研究
被引量:2
- 1
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作者
薛冰
张卫平
王子杰
田梦雅
谷留涛
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机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020年第3期443-447,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(61574093)
预研基金项目(614280504010317,6140863020202)
+1 种基金
上海专业技术服务平台项目(19DZ2291103)
教育部新世纪优秀人才支撑计划项目(NCET-10-0583)。
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文摘
由于多环谐振式微机械陀螺的谐振频率较高,传统的数字控制电路对陀螺幅点信号的频率跟踪难以同时兼顾精度和速度的要求。在传统半球陀螺数字控制电路的基础上,提出了一种适用于多环谐振式微机械陀螺仪的频率跟踪电路,并首次运用于多环谐振式微机械陀螺。该电路以高速A/D转换电路为基础,通过对幅点信号高速采样计算频率和相位信息,并通过CORDIC算法产生输出信号。测试结果显示,该电路使多环谐振式微机械陀螺幅点信号的频率跟踪精度达到了0.78Hz,频率跟踪时间小于40μs,使控制电路的性能得到了极大提升。
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关键词
多环谐振式微机械陀螺
频率跟踪电路
控制电路
A/D转换
CORDIC
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Keywords
mult-ring resonant micromechanical gyroscope
frequency tracing circuit
control circuit
A/D convert
CORDIC
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分类号
V241.554
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化
被引量:7
- 2
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作者
陈李
陈德勇
王军波
毋正伟
张明
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2009年第3期233-238,共6页
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基金
国家高技术研究发展计划(863)项目(2007AA04Z318)
国家自然科学基金资助项目(6067411260772018)
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文摘
提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对陀螺参数进行优化设计.采用有限元分析方法和实验测试方法相结合来验证该模型和设计方案的可行性.模型计算结果表明,优化后的陀螺在-200~200(°).s-1的范围内,其机械灵敏度为0.002 3μm/((°).s-1),电学灵敏度为0.062μV/((°).s-1).用有限元模拟得到陀螺机械灵敏度为0.002 9μm/((°).s-1),锁相放大器测试得到微陀螺样机电学灵敏度为0.051μV/((°).s-1).有限元仿真和样机实测结果与理论计算结果基本吻合,证实了该模型的正确性及陀螺设计方案的可行性.
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关键词
电磁式微机械陀螺
振动环
数学建模
优化设计
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Keywords
electromagnetic micro-machined gyroscope
vibrating ring
mathematical modeling
optimization design
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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