涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究

针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差。以1~4级组合叶列为例,采用不同模拟算法分别对传输概率、最大何氏系数和最大压缩比进行比较研究,与多级动静组合叶列算法相比,采用传统单级叶列算法对涡轮叶列的抽气性能的计算值偏大10%左右。提出的基于动静叶列多级组合算法,是对传统算法的继承和发展,为涡轮分子泵的精准设计提供了一种新的理论计算方法。