多维微驱动器纳米定位系统的研究

本文论述了在有多维微驱动器定位系统中 ,应用 PID和 FU ZZY联合控制的方式解决定位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾 ;应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象 ;以及在实际系统中 ,采用直线电机与微驱动器联合驱动的硬件构架 ,并配以上述控制策略 ,对定位系统进行粗定位和微定位 ,最终实现大范围和高精度的定位系统 .