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低压下激光剥离的研究
被引量:
1
1
作者
林飞
陈志远
+3 位作者
刘宝林
朱丽虹
李晓莹
曾凡明
《现代电子技术》
2014年第12期156-159,共4页
为了研究低压环境对激光剥离的影响,利用准分子激光剥离系统和真空腔对GaN/蓝宝石样品分别在低压下和常压下进行多脉冲激光照射,之后用台阶仪测量样品的分解深度,得知相比常压环境,低压下GaN分解深度在脉冲次数为10次、20次、30次时分...
为了研究低压环境对激光剥离的影响,利用准分子激光剥离系统和真空腔对GaN/蓝宝石样品分别在低压下和常压下进行多脉冲激光照射,之后用台阶仪测量样品的分解深度,得知相比常压环境,低压下GaN分解深度在脉冲次数为10次、20次、30次时分别增加了为10.2%,19.0%,24.3%,之后结合GaN材料分解过程和脉冲激光照射GaN/蓝宝石结构过程进行理论分析得到相应低压和常压下的GaN材料的理论分解深度,得到与实验一致的趋势。证明了低压环境能提高激光剥离速率。
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关键词
GAN
激光
剥离
多脉冲激光照射
激光
剥离速率
下载PDF
职称材料
题名
低压下激光剥离的研究
被引量:
1
1
作者
林飞
陈志远
刘宝林
朱丽虹
李晓莹
曾凡明
机构
厦门大学物理与机电工程学院
出处
《现代电子技术》
2014年第12期156-159,共4页
基金
国家自然科学基金(11104230)
文摘
为了研究低压环境对激光剥离的影响,利用准分子激光剥离系统和真空腔对GaN/蓝宝石样品分别在低压下和常压下进行多脉冲激光照射,之后用台阶仪测量样品的分解深度,得知相比常压环境,低压下GaN分解深度在脉冲次数为10次、20次、30次时分别增加了为10.2%,19.0%,24.3%,之后结合GaN材料分解过程和脉冲激光照射GaN/蓝宝石结构过程进行理论分析得到相应低压和常压下的GaN材料的理论分解深度,得到与实验一致的趋势。证明了低压环境能提高激光剥离速率。
关键词
GAN
激光
剥离
多脉冲激光照射
激光
剥离速率
Keywords
GaN
laser lift-off
multipulse lasar irradiation
laser lift-off rate
分类号
TN24-34 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低压下激光剥离的研究
林飞
陈志远
刘宝林
朱丽虹
李晓莹
曾凡明
《现代电子技术》
2014
1
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