基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法

电容传感器是实现空间任务中高精度位移探测的关键部件,受到敏感结构加工误差以及电子学器件精度的影响,系统电路的实际增益往往与理论之间存在一定差异.本文以差分放大电路为核心,对电容传感电路各环节的理论模型进行分析,并在此基础上构建了其增益及零偏模型.同时结合敏感结构工程样机开展了相关的标定实验,实现了多自由度上位移到电压的精确高效标定.此外,还提出了一种与之相对应的调制标定方法,能够有效地降低低频扰动造成的干扰,并通过实验验证了该标定方案的可行性以及零偏模型的准确性.结果显示,在未进行温控调节的情况下,各通路在多次测试下所得的标定增益系数的RMSPER值均小于0.2‰.