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多薄层致密砂岩储层大型水力压裂三维物理模拟实验
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作者 房茂军 杜旭林 +3 位作者 白玉湖 李昊 张浩 朱海燕 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期786-798,共13页
鄂尔多斯盆地东北缘临兴气田以多薄互层型致密砂岩储层为主,储层岩性复杂、渗透率低,受多种因素影响且作用机理不明确,导致压裂施工难度大、效果差异大。为此,针对临兴气田致密砂岩储层不同岩石组分、黏土含量、粒径、沉积旋回、平面及... 鄂尔多斯盆地东北缘临兴气田以多薄互层型致密砂岩储层为主,储层岩性复杂、渗透率低,受多种因素影响且作用机理不明确,导致压裂施工难度大、效果差异大。为此,针对临兴气田致密砂岩储层不同岩石组分、黏土含量、粒径、沉积旋回、平面及纵向非均质性等特性,设计并开展了不同地质条件下的水力压裂室内大型三维物理模拟实验。根据相似准则,参照二叠系石盒子组三向地应力、岩石强度、井身结构参数、现场压裂施工参数,确定了实验基本参数。根据临兴气田典型井主力储层特征,制作了考虑不同岩石组分、黏土含量、粒径、沉积旋回组合、平面非均质性组合、纵向非均质性组合的15块立方体岩心,开展了15组压裂模拟实验,并从分析注入压力曲线和观察岩样破裂面两个方面总结了影响水力压裂缝扩展规律的储层主控因素。研究表明,岩石矿物和粒径、沉积旋回、平面及纵向非均质性对致密储层裂缝扩展形态有显著影响。砂岩粒度较大、胶结较弱、黏土含量较高、平面非均质性较强,使得裂缝面更易于屈曲,扩展压力增大,导致加砂困难;沉积旋回会使得水力压裂缝易于沿旋回层面扩展,从而形成水平缝,其中反旋回界面突破难度比正旋回大;由于砂—泥层间界面、砂—煤层间界面、天然砂岩弱面易被激活,从而产生“工”或“T”字形裂缝,对于砂泥多薄互层还会产生“工”+“T”+“十”字形的组合裂缝。实验研究揭示了不同地质条件下的水力压裂缝扩展形态,也为类似区块的研究提供了借鉴。 展开更多
关键词 致密气 多薄层 水力压裂 裂缝形态 物理模拟实验 临兴气田 鄂尔多斯盆地
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多薄层特低孔隙度致密砂岩气藏开发模式研究——以川西洛带气田遂宁组气藏为例 被引量:1
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作者 张岩 邓美洲 +4 位作者 卜淘 高伟 詹泽东 王琼仙 刘叶 《天然气技术与经济》 2023年第5期26-32,共7页
为了建立特低孔隙度、低丰度的多薄层致密砂岩气藏的开发模式,指导同类气藏高效开发,以四川盆地川西洛带气田上侏罗统遂宁组气藏为研究对象,分析了储集层特征、微观渗流机理,指出了该类气藏科学合理的开发模式。研究结果表明:①砂岩、... 为了建立特低孔隙度、低丰度的多薄层致密砂岩气藏的开发模式,指导同类气藏高效开发,以四川盆地川西洛带气田上侏罗统遂宁组气藏为研究对象,分析了储集层特征、微观渗流机理,指出了该类气藏科学合理的开发模式。研究结果表明:①砂岩、泥岩频繁互层叠置,储集层基质物性较差,为特低孔隙度、致密储层,微观孔隙以细孔—微喉型为主,孔喉体积比偏小,岩心覆压实验结果表明渗透率应力敏感较强;②气藏原始束缚水饱和度中等,气水两相共渗区较大,岩心衰竭实验结果表明采收率中等—较高;③气藏无边、底水,属常压、定容封闭弹性气驱干气气藏;④单井控制储量小,稳产期短,压力、产量递减较快,低压低产期较长。结论认为:①该类气藏以多个薄砂体交互叠置状或透镜状分布为地质特征,为了提高开发效益,按照先评价认识清楚后再投入开发、逐步滚动扩边增储上产的思路开展气田建设工作;②建产期优先开发高产富集区,试验增产工艺;③稳产期依靠直井多层压裂合采,补充新井实现产能井间接替;④递减期依靠老井转层挖潜、增压开采与泡沫排水采气等措施延缓产量递减,同时部署开发调整井进一步提高采收率。 展开更多
关键词 四川盆地西部 洛带气田 多薄层 特低孔隙度 致密砂岩 孔隙结构 渗流机理 开发技术政策
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东营凹陷多薄层低渗透滩坝砂储层分层压裂工艺优化 被引量:9
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作者 马庆利 《油气地质与采收率》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期121-126,共6页
滩坝砂储层具有纵向跨度大、薄层多、物性差及非均质性强等特征,常规笼统压裂效果差,逐级压裂改造费用高、操作复杂,开展分层压裂工艺优化研究具有重要的生产意义。以东营凹陷滩坝砂为例,针对压裂纵向改造程度低、有效裂缝长度和导流能... 滩坝砂储层具有纵向跨度大、薄层多、物性差及非均质性强等特征,常规笼统压裂效果差,逐级压裂改造费用高、操作复杂,开展分层压裂工艺优化研究具有重要的生产意义。以东营凹陷滩坝砂为例,针对压裂纵向改造程度低、有效裂缝长度和导流能力不足的难点,首先,通过分层地应力剖面确定、分层集中射孔优化和分层压裂临界施工排量优化,从而优化纵向压裂裂缝参数,提高长井段多薄层分层压裂纵向改造程度;然后,通过对裂缝参数、施工参数、支撑剂和低伤害压裂液体系的优选,实现层内支撑剂铺置优化,提高层内压裂改造程度。在滨438井区的分层压裂现场应用结果表明,实施分层压裂3个月,平均产油量是邻井常规笼统压裂产油量的2.2倍,充分说明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 多薄层 低渗透 滩坝砂 分层压裂 工艺优化 东营凹陷
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分层压裂技术在东风港油田多薄层中应用研究 被引量:3
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作者 郭海萱 《内蒙古石油化工》 CAS 2013年第5期103-105,共3页
本文在研究低渗透多薄层油藏特性的基础上对多种分层压裂技术进行了研究,开展了适应性分析,总结了多薄层分层压裂的关键技术,并在东风港油田的压裂改造中对投球分层及机械分层分别进行了应用,结果表明投球分层压裂针对性差,实现全部分... 本文在研究低渗透多薄层油藏特性的基础上对多种分层压裂技术进行了研究,开展了适应性分析,总结了多薄层分层压裂的关键技术,并在东风港油田的压裂改造中对投球分层及机械分层分别进行了应用,结果表明投球分层压裂针对性差,实现全部分层困难,容易砂堵。而机械分层针对性强,施工难度小,成功率高,压后效果好。最后总结了分层压裂的技术特点以及其发展方向,为低渗透多薄层的开采层提供了理论依据。 展开更多
关键词 低渗透 多薄层 分层压裂 机械分层 现场应用
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多薄层涂覆吸波材料计算设计方法研究 被引量:10
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作者 张铁夫 曹茂盛 +5 位作者 袁杰 彭智慧 肖钢 宁丹 王彪 朱静 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2001年第4期46-49,62,共5页
介绍了多薄层吸波材料的计算设计理论及优化方法 ,给出了单层、双层、多层吸波材料的计算设计结果 ,并预报了多层吸波材料对入射波的能量衰减和吸收带宽。采用表面涂覆技术制备了多薄层涂覆吸波材料的平板试样 ,并测试了其吸收带宽、吸... 介绍了多薄层吸波材料的计算设计理论及优化方法 ,给出了单层、双层、多层吸波材料的计算设计结果 ,并预报了多层吸波材料对入射波的能量衰减和吸收带宽。采用表面涂覆技术制备了多薄层涂覆吸波材料的平板试样 ,并测试了其吸收带宽、吸收峰位及功率衰减等技术指标。理论计算与实验比较研究表明 ,采用第一性原理计算和计算机辅助优化设计结果与实验基本吻合。 展开更多
关键词 雷达吸波材料 计算设计 微米级吸波剂 多薄层吸波材料 偏差分析 表面涂覆技术
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多薄层压裂流量分配判定准则 被引量:2
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作者 袁灿明 郭建春 +1 位作者 陈健 肖勇军 《断块油气田》 CAS 北大核心 2010年第1期109-111,共3页
通过分析传统"限流法"流量分配模型和多薄层地层的实际影响参数,认为建立多薄层压裂流量分配判定准则非常必要。以油层中部深度为准,推导出射孔孔眼末端剩余压力的计算公式,建立了流量进入地层的判定准则。利用该判定准则,判... 通过分析传统"限流法"流量分配模型和多薄层地层的实际影响参数,认为建立多薄层压裂流量分配判定准则非常必要。以油层中部深度为准,推导出射孔孔眼末端剩余压力的计算公式,建立了流量进入地层的判定准则。利用该判定准则,判定各层段的液体进入状况,达到判定准则所确定的裂缝开启初始临界条件的层段就会起裂,并且有液体进入该层段,未达到起裂初始临界条件则该层段暂时不起裂。如该层段在整个过程都未达到判定准则所要求的起裂初始临界条件,则会导致在整个压裂过程中都无法到达起裂临界条件,从而导致在压裂施工中产生所谓的"盲区",即压裂液无法到达的层段。 展开更多
关键词 多薄层 压裂 流量分配 判定准则 起裂压力 剩余压力
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大王北油田多薄层暂堵压裂技术研究与应用 被引量:1
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作者 张群双 《地球科学前沿(汉斯)》 2021年第11期1407-1415,共9页
被称作“千层饼”的多薄层低渗透油气藏,压裂改造难度很大。为了实现常规油气产能的顺利接替,多薄层储层的有效开发,对大王北油田应用的压裂工艺技术进行了对比分析,优选了多薄层暂堵压裂技术。从暂堵材料优选、技术参数优化等方面进行... 被称作“千层饼”的多薄层低渗透油气藏,压裂改造难度很大。为了实现常规油气产能的顺利接替,多薄层储层的有效开发,对大王北油田应用的压裂工艺技术进行了对比分析,优选了多薄层暂堵压裂技术。从暂堵材料优选、技术参数优化等方面进行研究,形成了针对性的暂堵压裂方案,特别是建立了层间暂堵和缝内暂堵堵剂用量计算模型和优化图版,应用于现场,升压明显,增产显著,对比邻井日增产达2倍。表明暂堵压裂对于多薄层储层具有适应性,通过匹配针对性的暂堵压裂方案,可以有效实现增储上产的目的。 展开更多
关键词 多薄层 低渗透储藏 转向压裂 重复压裂 暂堵剂
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InP系列多薄层材料本征辐射复合光荧光谱研究
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作者 丁国庆 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期36-41,共6页
报告了InP系列异质结构材料几种典型的本征辐射复合付立叶变换光荧光谱。观察到压应变量子阱结构材料10K下光荧光峰所对应的能隙却比室温(295K)下的能隙小的事实,指出了带间辐射复合光荧光峰双峰结构是室温下轻掺杂体材料... 报告了InP系列异质结构材料几种典型的本征辐射复合付立叶变换光荧光谱。观察到压应变量子阱结构材料10K下光荧光峰所对应的能隙却比室温(295K)下的能隙小的事实,指出了带间辐射复合光荧光峰双峰结构是室温下轻掺杂体材料光荧光谱的本征特征,分析和讨论了InGaAs/InP、InGaAsP/InP异质材料光荧光谱正常和异常温度特性。光荧光谱对确定多元化合物能带结构、组分。 展开更多
关键词 本征辐射复合光 荧光光谱 磷化铟 多薄层材料
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基于微地震监测解释的多薄层暂堵压裂应用研究
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作者 杨东明 张群双 车京虎 《地球科学前沿(汉斯)》 2022年第5期702-711,共10页
暂堵分层压裂技术因其工艺简单、分层灵活、适应性广、增产效果突出,在多薄层储层改造中应用越来越多,但对于它的实际转层效果一直存在争议。为了提高多薄层暂堵压裂裂缝扩展规律的认识,在胜利渤南油田义37块平台井实施了基于微地震裂... 暂堵分层压裂技术因其工艺简单、分层灵活、适应性广、增产效果突出,在多薄层储层改造中应用越来越多,但对于它的实际转层效果一直存在争议。为了提高多薄层暂堵压裂裂缝扩展规律的认识,在胜利渤南油田义37块平台井实施了基于微地震裂缝监测的暂堵压裂现场应用研究,从工区储藏特点分析入手,提出有针对性的多薄层暂堵改造方案,并根据平台井井眼分布特点,制定了相适应的微地震裂缝监测方案。通过研究发现,暂堵压裂能够提高多薄层储层的均衡充分动用,有利于提高单井产量。 展开更多
关键词 暂堵压裂 微地震监测 低渗透油藏 多薄层 均衡改造
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低渗薄层油藏挖潜配套技术研究
10
作者 李铭强 罗大俊 +2 位作者 胡营 郭文学 程子光 《石油石化物资采购》 2019年第25期42-42,共1页
低渗透油田开发中广泛应用并取得明显经济效益的主要技术是注水保持油藏能量、压裂改造油层和注气等技术,必须全面分析研究区储层的相渗特征、注水倍数与水驱效率、注水时机、合理井距、合理注入压力及最终驱油效率等开发问题。通过对... 低渗透油田开发中广泛应用并取得明显经济效益的主要技术是注水保持油藏能量、压裂改造油层和注气等技术,必须全面分析研究区储层的相渗特征、注水倍数与水驱效率、注水时机、合理井距、合理注入压力及最终驱油效率等开发问题。通过对典型低渗透油藏液量、含水、油量和水驱状况分析,评价注采井网对解决开发矛盾的适应性,认为制约该类油藏开发效果的主要因素是裂缝、储层和构造,油藏进入中高含水期井网调整要兼顾裂缝、储层和构造因素,设计不同注采井网进行数值模拟对比,结果表明适当加强边部注水,采取边部注水和压裂改造结合的灵活方式效果最好、油藏可以达到较高的采收率,对类似油藏的开发具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 低渗透 多薄层油藏 注采井网 限流分层 压裂改造
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地应力综合分析方法在多薄层油藏差异化压裂改造中的应用
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作者 李晓倩 赵丹星 +2 位作者 肖雯 杨峰 冯绍云 《中国石油和化工标准与质量》 2016年第4期52-54,共3页
地应力情况是制定储层改造方案的重要参考要素,多薄层油藏受非均质性影响,不同层段、不同位置开发程度差异明显。本文结合大37-大52块多薄层油藏进行了地应力综合分析。首先通过多层岩石力学实验结果对模拟纵向地应力剖面进行校正,并结... 地应力情况是制定储层改造方案的重要参考要素,多薄层油藏受非均质性影响,不同层段、不同位置开发程度差异明显。本文结合大37-大52块多薄层油藏进行了地应力综合分析。首先通过多层岩石力学实验结果对模拟纵向地应力剖面进行校正,并结合隔层厚度差异对压裂工艺进行优化指导;然后通过测井数据计算及现场压裂曲线分析,计算51口井的最大最小主应力,并绘制出地应力平面分布图,指导平面差异化改造。该地应力分析方法可有效指导该地区多薄层油藏的差异化压裂改造,并获得了良好效果。 展开更多
关键词 多薄层油藏 差异化压裂改造 地应力综合分析
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利用分层与控水压裂一体化工艺提高剩余油动用程度研究 被引量:4
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作者 才博 邱晓惠 +4 位作者 王欣 康汝坤 赵安军 吴国涛 刘建中 《油气井测试》 2013年第1期61-64,78,共4页
随着油田开发的不断进行,许多低渗透油田进入含水期,产油量逐渐下降、含水上升,使油田生产面临着严峻考验,以往大多采用人工隔层控缝高的方法来控水压裂,而对现有井网与人工裂缝的匹配关系确定剩余油的分布研究较少,对于在多层中既控水... 随着油田开发的不断进行,许多低渗透油田进入含水期,产油量逐渐下降、含水上升,使油田生产面临着严峻考验,以往大多采用人工隔层控缝高的方法来控水压裂,而对现有井网与人工裂缝的匹配关系确定剩余油的分布研究较少,对于在多层中既控水压裂又有效提高多层中剩余油分布的压裂工艺研究更少。在前人研究基础上,分析应力特征与井网的特点,判断剩余油分布及裂缝特征,对多层进行投球和新型改变润湿性堵水剂的控水压裂,同时对裂缝转向有利方位提出转向压裂技术,实现了多薄层分层、控水与压裂一体化的工艺技术,使工艺技术的针对性更强,现场应用初见成效,对我国目前大部分中高含水油田后期剩余油的储层改造工作提供一定借鉴意义。 展开更多
关键词 分层压裂 控水增油 低孔低渗储层 多薄层 RPM改进剂
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提高油气藏纵向动用效果的投球分压技术 被引量:3
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作者 才博 蒋廷学 +2 位作者 丁云宏 史原鹏 康如坤 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第4期535-538,共4页
为提高苏里格等多薄层储层改造纵向上有效动用程度差的技术难题.利用前置投球选择性分压方法及模型,进行技术改进与图版研究.结果揭示苏里格气层投球分压裂缝延伸规律,形成投球分压的应力判别新图版,建立提高压开程度的射孔优选方案,得... 为提高苏里格等多薄层储层改造纵向上有效动用程度差的技术难题.利用前置投球选择性分压方法及模型,进行技术改进与图版研究.结果揭示苏里格气层投球分压裂缝延伸规律,形成投球分压的应力判别新图版,建立提高压开程度的射孔优选方案,得出快速科学分析投球效果的现场判别图版与优化方案.综合应用提高了新型投球分压技术的适应性和针对性,现场应用36井次后,施工周期缩短10~30 d,试油及改造成本仅为原来的20%~50%,为多薄层油气藏储层纵向上的高效动用提供新技术手段. 展开更多
关键词 苏里格气田 多薄层储层 射孔优化 应力剖面 分层压裂 前置投球分压 缝高控制 支撑剖面
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机械分层压裂技术在纯梁薄互层油藏的应用 被引量:1
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作者 张慧 《科技传播》 2013年第5期138-138,141,共2页
分层压裂技术是多年来发展成熟的油层改造技术之一,是适合低渗透多薄层油藏改造的一项重要手段,其中机械分层压裂具有针对性强,施工难度小,成功率高,压后效果好的特点。本文重点介绍了纯梁采油厂机械分层压裂技术的优化应用及效果。
关键词 低渗透 多薄层 分层压裂 机械分层
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分层压裂工艺特点及在低渗油藏中的应用
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作者 王昊 《科教导刊(电子版)》 2013年第27期145-145,共1页
本文通过对分层压裂技术进行研究分析,在某区块的压裂改造中对投球分层及机械分层进行了现场应用,结果表明机械分层压裂优于投球分层,其压后效果好,为低渗透多薄层的开采提供了新的方法.
关键词 低渗透 多薄层 分层压裂 现场应用
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Preparation, formation mechanism and mechanical properties of multilayered TiO_2-organic nanocomposite film 被引量:2
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作者 牟文宁 翟玉春 石双志 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期1128-1134,共7页
Ti O2-organic multilayered nanocomposite films were deposited on a self-assembled monolayer-coated silicon substrate based on layer-by-layer technique and chemical bath deposition method by a hydrolysis of Ti Cl4 in a... Ti O2-organic multilayered nanocomposite films were deposited on a self-assembled monolayer-coated silicon substrate based on layer-by-layer technique and chemical bath deposition method by a hydrolysis of Ti Cl4 in an acid aqueous solution. The chemical compositions, surface morphologies and mechanical properties of the films were investigated by X-ray photoelectron spectrometer(XPS), scanning electron microscopy(SEM) and nanoindentation depth-sensing technique, respectively. The results indicate that the major chemical compositions of the films are Ti and O. The principal mechanism for the nucleation and growth of the films is homogeneous nucleation, and the layer number of films has great influence on the surface morphology and roughness of the films. In addition, mechanical nanoindentation testing presents a significant increase in hardness and fracture toughness of titanium dioxide multilayered films compared with single-layer titanium dioxide thin film. 展开更多
关键词 titanium dioxide multilayered film self-assembly monolayer formation mechanism mechanical properties
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Improvement of adhesion properties of TiB_2 films on 316L stainless steel by Ti interlayer films 被引量:4
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作者 夏木建 丁红燕 +1 位作者 周广宏 章跃 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期2957-2961,共5页
The periodic [Ti/TiB2]n (n=l, 2, 3) multilayered films were prepared on the substrate of AISI 316L stainless steel by magnetron sputtering to enhance the adhesion of TiB2 films based on the remarkable mechanical per... The periodic [Ti/TiB2]n (n=l, 2, 3) multilayered films were prepared on the substrate of AISI 316L stainless steel by magnetron sputtering to enhance the adhesion of TiB2 films based on the remarkable mechanical performance of layered films. The influence of periods on microstructure, adhesion and hardness of [Ti/TiB2]n multilayered films was studied. X-ray diffraction (XRD) analysis shows that the monolayer TiB2 films exhibit (001) preferred orientation, and the preferred orientation of [Ti/TiB2], multilayered films transfers from (001) to (100) with the increase of periods. The cross-sectional morphology of each film displays homogeneity by field emission scanning electron microscopy (FESEM). The hardness of the films measured via nanoindention changes from 20 to 26 GPa with the increase of periods. These values of hardness are a bit lower than that of the monolayer TiB2 films which is up to 33 GPa. However, the [Ti/TiB2]n multilayered films present a considerably good adhesion, which reaches a maximum of 24 N, in comparison with the monolayer TiB2 films according to the experimental results. 展开更多
关键词 multilayered films ADHESION TiB2 films magnetron sputtering nano-hardness
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A new electromagnetic functional material composed of metallic hollow micro-spheres 被引量:4
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作者 徐鸿飞 徐丽娜 +1 位作者 顾宁 孙忠良 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2003年第1期8-11,共4页
This paper presents a new electromagnetic functional material developed byelectron-less nickel deposition technique, with a single hollow micro-sphere as the core templateand a thin nickel layer as the shell. The micr... This paper presents a new electromagnetic functional material developed byelectron-less nickel deposition technique, with a single hollow micro-sphere as the core templateand a thin nickel layer as the shell. The micrograph taken by a scanning electron microscope showsthe microstructures of the materials in detail. Scattering parameters of the waveguide sample holderfilled with the materials have been obtained over X band. The electromagnetic parameters computedfrom the measured S parameters show that the material with metallic hollow spheres has as highrelative permeability μ'_r as 19.0 with about 0.6 magnetic loss tangent over the whole bandwidth.Compared to the material with non-metallic spheres, the permeability μ'_r and the magnetic losstangent μ'_r increase greatly, while the permittivity remains lower than 1.8. 展开更多
关键词 electromagnetic functional material microwave absorbing electron-lessdeposition
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水力压裂改造技术在现河低渗透油田的完善与应用
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作者 涂永 《内蒙古石油化工》 CAS 2008年第13期135-136,共2页
胜利油田现河油区低渗透油藏含油面积28.7Km2,动用储量4562(104t),占总动用储量的20.9%。开发过程中,由于储层天然物性差,水力压裂是该类油藏的主导改造工艺技术。随着低渗透老区的开发和低品位新区的动用,压裂选井选层的难度正逐渐加大... 胜利油田现河油区低渗透油藏含油面积28.7Km2,动用储量4562(104t),占总动用储量的20.9%。开发过程中,由于储层天然物性差,水力压裂是该类油藏的主导改造工艺技术。随着低渗透老区的开发和低品位新区的动用,压裂选井选层的难度正逐渐加大,低潜力复杂井被纳入选井范围,多薄层、斜井比例增加。针对影响压裂效果的相关技术环节,结合近几年的现场实践,完善应用了从选井到设计施工的压裂系列技术,进一步深化了对压裂效果决定因素的认识水平,提高了压裂技术水平。 展开更多
关键词 低渗透油藏 水力压裂 选井选层 小井距压裂 斜井 多薄层压裂优化
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Research on Raman-scattering and Fabrication of Multilayer Thin Film with Different Structures and Components Based on Pt/Ti/Si3N4/SiO2/Si Substrate
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作者 谭秋林 张文栋 +3 位作者 薛晨阳 刘俊 李都泓 熊继军 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2009年第3期333-338,340,共7页
Using the same conditions and various starting materials, such as lead acetate trihydrate, tetrabulyl titanate, zirconium n-butoxide, and acetylacetone, two kinds of solid precursors, lead zirconate titanate (PZT, Zr... Using the same conditions and various starting materials, such as lead acetate trihydrate, tetrabulyl titanate, zirconium n-butoxide, and acetylacetone, two kinds of solid precursors, lead zirconate titanate (PZT, Zr/Ti=15/85) and lead titanate (PT), were fabricated. With three different combinations, namely, PZT, PT/PZT-PZT/PT, and PT/PZT/-/PZT/PT, three multilayer thin films were deposited on three Pt-Ti-Si3N4-SiO2-Si substrates by a modified sol-gel process. The fabrication process of the thin films is discussed in detail. We found that there is a large built-in stress in the thin film, which can be diminished by annealing at 600 ℃, when the gel is turned into solid material through drying and sintering. The Raman scattering spectra of the films with different compositions and structures were investigated. With the help of X-ray diffraction (XRD) analyzer and Raman scattering spectra analyzer, it was found that the thin films with the PT/PZT-PZT/PT structure have reasonable crystallinity and less residual stress. XRD testing shows that the diffraction pattern of the multilayer film results from the superimposition of the PZT and PT patterns. This leads to the conclusion that the PT/PZT-PZT/PT multilayer thin film has a promising future in pyroelectric infrared detectors with high performance. 展开更多
关键词 Multilayer thin film PYROELECTRIC Sol-gel Raman XRD analysis
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