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平面及直线与多面体相交算法
1
作者
林振民
陈少强
《物探化探计算技术》
CAS
CSCD
1996年第3期215-218,共4页
文章详细介绍了平面与多面体相交的算法。讨论了多面体的描述,建立查找表、扫描、跟踪等方法,以及平面与多面体多次相交情况的处理。文章还介绍了直线与多面体相交的算法。
关键词
平面
多面体相交
直线
地质勘探
地质体模型
下载PDF
职称材料
光刻机多面体主基板的设计与算法
被引量:
1
2
作者
吴飞
王茜
+2 位作者
袁志扬
魏巍
陈文枢
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1164-1168,共5页
论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行...
论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行数据的采集,对主基板和测量支架的安装面上的接口和支撑位置进行有效定义,明确所有相关接口在三维空间内的位置数据;其次采用凸包算法求解获得主基板多面体的外形轮廓,由于光刻机内部结构的复杂性,还要对模型进行局部修正;再次,结合平面切剖多面体算法设计主基板内部结构;最后,经有限元仿真验证取得了提高振动模态和减小结构质量的双重改进效果,达到了设计性能指标并且该结构适合工程制造。
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关键词
多边形
多面体
凸包算法
平面与凸
多面体相交
一阶模态
下载PDF
职称材料
题名
平面及直线与多面体相交算法
1
作者
林振民
陈少强
机构
地质矿产部地球物理地球化学勘查研究所
出处
《物探化探计算技术》
CAS
CSCD
1996年第3期215-218,共4页
基金
本文是地矿部八五攻关项目中的一项专题研究成果之一
由地矿部科技司资助。
文摘
文章详细介绍了平面与多面体相交的算法。讨论了多面体的描述,建立查找表、扫描、跟踪等方法,以及平面与多面体多次相交情况的处理。文章还介绍了直线与多面体相交的算法。
关键词
平面
多面体相交
直线
地质勘探
地质体模型
Keywords
intersection of plane with polyhedron, intersection of line with polyhedron, lookup table, scanning, tracing
分类号
P624 [天文地球—地质矿产勘探]
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职称材料
题名
光刻机多面体主基板的设计与算法
被引量:
1
2
作者
吴飞
王茜
袁志扬
魏巍
陈文枢
机构
上海微电子装备有限公司
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1164-1168,共5页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02208)
文摘
论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行数据的采集,对主基板和测量支架的安装面上的接口和支撑位置进行有效定义,明确所有相关接口在三维空间内的位置数据;其次采用凸包算法求解获得主基板多面体的外形轮廓,由于光刻机内部结构的复杂性,还要对模型进行局部修正;再次,结合平面切剖多面体算法设计主基板内部结构;最后,经有限元仿真验证取得了提高振动模态和减小结构质量的双重改进效果,达到了设计性能指标并且该结构适合工程制造。
关键词
多边形
多面体
凸包算法
平面与凸
多面体相交
一阶模态
Keywords
polygon
polyhedron
convex hull
plane-- convex polyhedron intersection
first modal
分类号
TH12 [机械工程—机械设计及理论]
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
平面及直线与多面体相交算法
林振民
陈少强
《物探化探计算技术》
CAS
CSCD
1996
0
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职称材料
2
光刻机多面体主基板的设计与算法
吴飞
王茜
袁志扬
魏巍
陈文枢
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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职称材料
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