多频激励信号对离子能量分布的影响

在等离子体多频电容放电过程中不同频率的电压、谐波、频率、是如何影响离子的能量分布,分析和把握这种现象和成因机制,对于更好地控制集成电路蚀刻等微处理技术,以及对等离子体物理基础理论研究均有重要作用。着重讨论高低频(双频)激励电容耦合放电过程中的粒子能量分布函数(IEDs),从理论分析推导出多频激励信号的离子能量分布函数计算模型。通过该计算模型可以分析和预测不同高低频激励的离子能量分布,计算结果与目前国内外公开发表学术期刊研究的相关结论基本吻合。