晶花传感器及其在大力值测量中的应用

重点论述了一种新型传感器芯片 晶花芯片及由其构成的晶花传感器，探讨了从选晶、切割、非圆晶片、晶轴取向、晶花布阵、绝缘到布线等一系列问题，阐明转换基理和工艺过程，并给出几种典型芯片模式，以及它在大力值测量中的应用。

附着式测力传感器

成果简要说明及主要技术指标:重型工业装备(如轧钢机等)的工作力值高达数千乃至上万吨力(数十兆至百兆牛顿)以上。如此巨大的力值监测与控制,已成为当代重型装备工作载荷测控技术的专门领域。传统的大力值测量系统广泛采用专门设计的支承式测力传感器。