支撑力非均匀性对大口径光学镜片面形的影响

针对大口径光学镜片支撑点底面周向均布的柔性支撑系统,采用随机分析方法分析其支撑点上支撑力的随机不均匀性对镜片面形的影响规律.将柔性支撑系统的各点支撑力视为服从均匀分布的独立随机变量,随机产生多组支撑力数据,利用有限元方法分别计算镜片在每组支撑力作用下的镜片变形,求解相应的泽尼克多项式系数,进而对镜片面形变化的峰-谷值及泽尼克多项式系数进行概率密度估计和柯尔莫哥洛夫检验方法检验.实例分析结果表明:采用参数估计方法,镜片在随机支撑力作用下,面形峰-谷值较好地服从正态分布,泽尼克系数较好地服从正态分布;采用非参数估计方法,核概率密度估计的结果可较好反映面形峰-谷值及泽尼克系数的分布特性.