基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析

微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一。以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了微夹钳的二次超静定力学模型,导出了钳口处输出位移的解析式,并在此基础上对硅微机械手的性能进行了分析。分析表明,微夹钳的输出位移与柔性铰链切割半径成正比,切割半径越大,输出位移越大;对各加载电压下的微夹钳输出位移,其试验和理论结果的变化趋势一致,即微夹钳输出位移随输入电压的增加基本呈线性增加。

压电机械手在精密操作中的应用

为了提高有效定位的准确度，本文提出了一种新的大型／微型组合的机械手系统。这对工业机器人的应用是非常重要的。本文详细的介绍了系统的构造、微型机械手设计、系统控制器、控制算法。成功实现了嵌入式装置的实验并给出了结果。