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电子气体系统技术应用现状和发展趋势
被引量:
4
1
作者
李东升
黄勇
《中国集成电路》
2007年第3期37-39,共3页
论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
关键词
电子
气
体
特
种
气
体
大宗特气
输送系统
纯度控制
下载PDF
职称材料
题名
电子气体系统技术应用现状和发展趋势
被引量:
4
1
作者
李东升
黄勇
机构
上海正帆超净技术有限公司
出处
《中国集成电路》
2007年第3期37-39,共3页
文摘
论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
关键词
电子
气
体
特
种
气
体
大宗特气
输送系统
纯度控制
分类号
TN04 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
电子气体系统技术应用现状和发展趋势
李东升
黄勇
《中国集成电路》
2007
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