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电子气体系统技术应用现状和发展趋势 被引量:4
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作者 李东升 黄勇 《中国集成电路》 2007年第3期37-39,共3页
论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
关键词 电子 大宗特气 输送系统 纯度控制
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