光栅光调制器阵列翘曲问题分析

提出了一种新颖的面向大屏幕高清晰度显示的光栅光调制器(GLM)阵列.它利用光衍射原理对入射光进行调制.GLM是在硅片上分层构造的器件,采用以铝膜工艺为主的表面微加工工艺.在研制过程中器件翘曲成为制约器件性能的关键问题.从残余应力分析入手,分析了产生残余应力的原理,并提出使用单金属膜并控制工艺参数的改进方案.另外,采用"减薄梁"的工艺,使大部分应力释放在刚性较弱的支撑梁上.加工结果印证了理论分析和仿真,最终器件获得了较为平坦的表面.