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基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
1
作者
贺龙
李淑娴
+4 位作者
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期409-413,428,共6页
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探...
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
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关键词
关键尺寸原子力显微镜探针
深沟槽
大悬垂侧壁
大高宽比
有效高度
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职称材料
题名
基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
1
作者
贺龙
李淑娴
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
机构
大连大学机械工程学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室
中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期409-413,428,共6页
基金
国家重点研发计划(2021YFB3201600)
国家自然科学基金(面上项目)(62074159)
苏州市科技计划项目(SSD2023001)
文摘
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
关键词
关键尺寸原子力显微镜探针
深沟槽
大悬垂侧壁
大高宽比
有效高度
Keywords
critical dimension atomic force microscopy probes
deep grooves
large overhanging sidewall
large aspect ratio
effective height
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
贺龙
李淑娴
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
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