大抽速氙气泵优化设计研究

介绍了500 mm口径大抽速氙气泵的抽气原理、结构、一级冷板优化设计和抽速测试。通过氙气和氮气抽气速率测试对比,该款大抽速氙气泵的氙气抽速与氮气抽速相近,实际抽速高达10 500 L/s,抽氙速率提高了1倍以上。大抽速氙气泵除了具有较优的抽氙性能,同时具备常规低温泵所有性能。该泵可一泵多用,为客户节约了采购和安装成本。