一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计

利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法 ,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪 ,用补偿法的关键是补偿器的设计。本文介绍了补偿法检测非球面的原理 ,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯 ,设计了一种由 4片薄球面透镜组成的补偿器 ,该补偿器由前后两部分组成 ,前面两片组成一个数值孔径很小的系统 ,主要用于产生适量的球差 ,后组两片组成一个数值孔径较大的系统 ,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要。文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析。用这种补偿器检测相应的非球面 ,检测精度可达 0 .0 5λ ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要。