一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法

根据曲轴宽电子束聚焦理论,研究了一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法。这种新方法可在保持与传统方法相同的精度条件下,减小电子光学传递函数的计算量,提高计算速度,对大物面成象系统的计算具有实际意义。