大直径超薄钢环安装测量控制

天津滨海新区首条地铁B1线的盾构钢环,厚10mm,宽130mm,内径7 100mm,外径7 360mm。如此大直径、超薄的钢环,吊运安装过程中的测量控制难度极大。采用高精度全站仪完成了钢环加工和安装过程中直径、平整度、线型及高程等整个测量控制过程。安装精度完全符合要求,保证了钢环在安装后盾构机的位置状态符合线路要求。此测控方法全程采用全站仪,代替了传统人工耗时耗力的测量控制工作,节约了宝贵的施工时间。

抛光参数对超薄晶圆表面抛光效果影响的研究

介绍了抛光工艺及其在硅材料中的应用,重点分析了直径300 mm、厚度50μm±2.5μm的晶圆在抛光加工过程中抛光液的浓度、抛光压力和抛光垫等因素对晶圆表面粗糙度及表面平整性的影响,通过试验确定了超薄晶圆在抛光过程中合适的工艺参数。