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极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发 被引量:1
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作者 詹家荣 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期72-73,共2页
进入21世纪,世界全面进入了信息化时代,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业,我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业。半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础,而大规模集成电路设计制造业更是... 进入21世纪,世界全面进入了信息化时代,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业,我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业。半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础,而大规模集成电路设计制造业更是信息产业的先导和基石,是计算机和通讯设备信息家电的心脏,其影响面广,产业链长。 展开更多
关键词 大规模集成电路工艺 超净纯试剂 研制 产业化 开发
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自停止腐蚀工艺的观察
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作者 唐圣明 陈思琴 韩明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期408-409,共2页
关键词 自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 微机械器件 硅片腐蚀 微悬梁 加速度计结构
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Challenges to Data-Path Physical Design Inside SOC 被引量:2
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作者 经彤 洪先龙 +5 位作者 蔡懿慈 许静宇 杨长旗 张轶谦 周强 吴为民 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期785-793,共9页
Previously,a single data-path stack was adequate for data-path chips,and the complexity and size of the data-path was comparatively small.As current data-path chips,such as system-on-a-chip (SOC),become more complex,m... Previously,a single data-path stack was adequate for data-path chips,and the complexity and size of the data-path was comparatively small.As current data-path chips,such as system-on-a-chip (SOC),become more complex,multiple data-path stacks are required to implement the entire data-path.As more data-path stacks are integrated into SOC,data-path is becoming a critical part of the whole giga-scale integrated circuits (GSI) design.The traditional physical design methodology can not satisfy the data-path performance requirements,because it can not accommodate the data-path bit-sliced structure and the strict performance (such as timing,coupling,and crosstalk) constraints.Challenges in the data-path physical design are addressed.The fundamental problems and key technologies in data-path physical design are analysed.The corresponding researches and solutions in this research field are also discussed. 展开更多
关键词 physical design data-path bit-sliced structure SYSTEM-ON-A-CHIP giga-scale integrated circuits very-deep-submicron
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