大角度线性偏转的电热式微镜仿真设计

MEMS微镜虽种类繁多,但是能够实现大角度偏转能力的MEMS微镜却很少,能够实现线性偏转能力的MEMS微镜更是屈指可数。论文针对现有MEMS微镜偏转角度小、偏转能力不可控以及无法线性偏转等问题,提出了一种新型的电热式MEMS微镜结构,该结构具备较大的微镜反射平面,并且镜面平整光滑,反射率较高。不仅能够实现119°的大角度偏转能力,还具有在0~3 V内的电压—角度线性偏转的能力。