大角度离子注入机控制系统的研制

介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等。经实验证明,该控制系统稳定、可靠。

大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。

大角度离子注入机控制系统软件设计

介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。

大角度离子注入机中的颗粒污染

针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染。

大角度离子注入机的束流自动调节

阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。

大角度离子注入机的束纯度控制

从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性。

离子注入装备发展趋势

简述了现代集成电路制造工艺的发展状况,详细的介绍了制造工艺各技术节点离子注入工艺所面临的挑战及解决方案。

LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析

为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾。其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题。计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数。主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令。而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控。介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果。