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基于方棱镜的大错位电子散斑干涉形貌测量技术 被引量：1
1
作者 孙平 于立国 高秀梅 《山东师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第4期-,共2页
分析了方棱镜的剪切原理,提出了利用方棱镜作为剪切元件的大错位电子散斑干涉形貌测量技术.利用方棱镜作为剪切元件,对被测物体进行微小偏转以引入载波条纹,通过CCD摄像机采集载波条纹图,利用傅里叶变换法解调可得到物体高度的位相信息... 分析了方棱镜的剪切原理,提出了利用方棱镜作为剪切元件的大错位电子散斑干涉形貌测量技术.利用方棱镜作为剪切元件,对被测物体进行微小偏转以引入载波条纹,通过CCD摄像机采集载波条纹图,利用傅里叶变换法解调可得到物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量. 展开更多
关键词 棱镜 大错位电子散斑干涉 载波条纹 形貌测量技术 剪切元件 物体 傅里叶变换法 CCD摄像机 位相信息 剪切原理 条纹图 解调 分析
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