激光沉积大面积均匀类金刚石膜的设计改进及实验

针对激光等离子体的边缘粒子对激光沉积类金刚石膜性能的不利影响,改进自转衬底一维变速平移技术的大面积均匀镀膜机构。利用开孔的挡板滤除等离子体边缘的粒子,同时在原有膜厚分布数学模型中加入相应的模块;通过优化模型中的机构运动参数,指导实验获得了直径200 mm的大面积均匀类金刚石膜。测试结果表明:该类金刚石膜的不均匀性为±4.5%,且膜厚分布特征与理论优化结果相同,同时纳米硬度和红外透过率较改进前显著提高;相对于改进前的大面积均匀镀膜技术,改进后的机构具有更实际的应用价值。

用VHF-PECVD技术研制大面积均匀硅基薄膜

首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析,认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大,而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法,对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究,然后就工作压力、沉积功率、流量等工作参数对均匀性、沉积速率、材料特性的影响进行了研究。结果表明:在本文所研究的范围内,适当提高工作气压可以提高薄膜的均匀性,而功率的变化对均匀性影响不大;在一定范围内提高工作气压和功率都可提高沉积速率;从薄膜的质量来说,气压低时较好,而功率则应适当选择。通过优化沉积条件,我们在普通浮法玻璃上制备出了面积为23×24cm^2,厚度不均匀性为±1.4%,最高沉积速率达10.5/s,光敏性最大为2.25×10~5的a-Si:H薄膜材料。

具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究

大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率,而制备大面积均匀性的高质量铝膜是实现高性能大尺寸中阶梯光栅的关键因素.本文首次详细报道了具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的制备工艺.首先通过理论计算模拟了蒸镀过程中蒸发源的位置、发射特性以及夹具高度对铝膜均匀性的影响,然后研究了关键的蒸发工艺参数,例如蒸发速率、蒸发高度等对铝膜均匀性和铝膜质量的影响,最后在最佳化的蒸发工艺条件下,成功制备出满足大尺寸中阶梯光栅用的在直径700 mm范围内的均匀性小于1%、厚度大于10μm的高质量铝膜.

某粮食平房仓大面积不均匀堆载对墙体裂缝影响分析

某粮库平房仓内由于装粮后导致墙体出现斜向裂缝,文章通过搜集现场地勘、施工质量、使用情况等资料,并详细了解裂缝的发生时间、荷载作用时间、使用条件等,对地基的承载力、地基变形验算及沉降进行复核,对仓内粮食堆放的影响进行分析,为分析裂缝产生的原因提供数据。

大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发

该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对不同弦高气盒,密封结构气盒和非密封结构气盒进行系统比较,研究对薄膜的非均匀性、沉积速率的影响。通过工艺参数及硬件优化,最终得到沉积速率接近5?/s、晶化率约为60%、晶化率及膜厚的非均匀性均小于10%的纳米硅薄膜。以此膜层制备技术为基础,在1.1 m×1.4 m面积的透明导电玻璃基板上制备出初始功率为154.97 W(全面积转换效率10.1%)的非晶硅/纳米硅双结叠层太阳电池。

适用于扩展光源且具有阵列编辑性的透镜组设计

利用自由曲面设计并结合斯涅耳定律以及能量守恒定律,设计出一款能实现大面积均匀光斑的透镜组。该透镜组由一块次透镜和一块主透镜组成,其中次透镜对LED发光角进行收缩来减小透镜组结构,而主透镜对能量进行调控来实现均匀度调节。通过蒙特卡洛光线追迹模拟仿真,单个透镜组在接收面呈现方形均匀光斑,有效辐射通量比达到95.5%,均匀度达到95.7%,表明该透镜组具有良好的有效辐射通量比和均匀度;而透镜组阵列在接收面同样呈现方形均匀光斑,有效光通量比和均匀度均大于95%,表明透镜组阵列能够耦合多颗LED面阵列扩展光源,实现更高光功率的均匀光斑,可以用于基于荧光反向测量装置中大功率光源等应用场景。

狭缝涂布大面积氧化锌薄膜的制备及其在柔性有机太阳能电池中的应用

发展有机太阳能电池的印刷法制备技术是实现有机光伏产业化的关键。在有机光伏器件中,氧化锌是常用的电子传输层材料。氧化锌纳米粒子在印刷过程中的自聚集,以及大面积薄膜干燥的不均匀,严重影响了大面积印刷有机光伏器件的性能。通过调控氧化锌墨水溶剂和引入墨水分散添加剂,获得一种适用于大面积涂布的氧化锌纳米墨水。其中复合溶剂的使用调控了氧化锌墨水的流变特性,进而改善了涂布薄膜中的边缘效应;而乙醇胺添加剂的引入解决了墨水在存放和印刷过程中的聚集问题。该墨水具有18个月以上保存稳定性,以及优异的狭缝涂布适印性。基于上述墨水,采用狭缝涂布方法制备获得的100×100 mm^(2)尺寸的大面积涂布薄膜具有优异的均匀性。将印刷的大面积氧化锌薄膜作为柔性有机太阳能电池的电子传输层,获得1 cm^(2)柔性有机太阳能电池的效率超过了14%,同时表现优异的重复性。

天鹅绒阴极二极管的实验研究

介绍了天鹅绒阴极二极管的结构及天鹅绒阴极的设计 ,给出了二极管参数的测量方法及结果。对 3种不同材料的天鹅绒阴极进行了实验研究 ,获得了大面积均匀电子束 ,并对电子束的横向及径向均匀性进行了诊断。实验结果表明 :二极管工作状态接近的条件下 ,3种材料的天鹅绒阴极所获得的大面积电子束均匀性相近 。

纳米级有序超薄膜的连续制备装置

本文报导一种大面积连续制备纳米级有序超薄膜的技术及自动成膜装置。该方法通过稳定层状流动的亚相，利用它与亚相表面上单分子膜的切应力进行分布式压膜。研究表明，该方法可用于制各大面积均匀的聚合物单分子膜，并可实现自动连续成膜。

制膜技术与装置

O484.1 20030 10579大面积均匀纳米金刚石薄膜制备研究=Synthesis of uniformand large area nano-diamond film[刊,中]/龚辉(中科院上海光机所.上海(201800)),范正修…//光学学报.-2002,22(6).-718-722报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板上制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过扫描电镜。

光放大、控制及器件

TM564.1 98021240300 mm×300 mm口径电光开关等离子体电极实验研究=Study of plasma electrode used for electro-optical switch with a clear aperture of 300mm×300:mm[刊,中]/鲁敬平,张雄军(中物院核物理与化学研究所.四川,成都(610003))∥强激光与粒子束.-1997,9(2).-271-276设计并实验了300 mm×300 mm口径的辉光放电室,利用钮扣阴极和自动预电离条形阴极进行实验,获得了大面积均匀的辉光放电。测量了不同状态下的辉光放电的放电延时等离子电阻。得到了产生大面积均匀辉光放电的最佳条件。参4(方舟)