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大面积光刻胶线棒涂布工艺研究
被引量:
5
1
作者
韦必明
金名亮
+3 位作者
吴昊
窦盈莹
周国富
水玲玲
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2015年第2期84-89,共6页
介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的...
介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
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关键词
线棒
涂布
法
大面积涂布
高粘度
光刻胶
涂布
工艺
下载PDF
职称材料
题名
大面积光刻胶线棒涂布工艺研究
被引量:
5
1
作者
韦必明
金名亮
吴昊
窦盈莹
周国富
水玲玲
机构
华南师范大学华南先进光电子研究院
出处
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2015年第2期84-89,共6页
基金
国家自然科学基金项目(21303060)
广东省自然科学基金项目(S2013010014418)
+1 种基金
教育部引进创新科研团队项目(IRT13064)
广东省创新科研团队项目(2011D039)
文摘
介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
关键词
线棒
涂布
法
大面积涂布
高粘度
光刻胶
涂布
工艺
Keywords
bar coating
large area coating
high viscosity
photoresist
coating process
分类号
TQ586.3 [化学工程—精细化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大面积光刻胶线棒涂布工艺研究
韦必明
金名亮
吴昊
窦盈莹
周国富
水玲玲
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2015
5
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