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题名大面积微通道板(MCP)电子清刷测试系统设计
被引量:1
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作者
宋诚鑫
邱亚峰
钱芸生
汤狸明
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机构
南京理工大学机械工程学院
南京理工大学电子工程与光电技术学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期833-838,共6页
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基金
国家自然基金(61301023)
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文摘
电子清刷是提升MCP性能的有效手段,鉴于目前国内的清刷测试系统只适用于直径30mm以下的MCP,设计了一套4工位大面积MCP(500mm×100mm)的清刷测试系统。该系统4个工位均可实现对大面积MCP的电子清刷,且其中一个工位兼具测试功能,可以测试清刷前后MCP的参数变化,清刷测试工位可实现相互转换。通过均匀紫外光照射金阴极产生均匀电子再经标准MCP(Φ105mm)倍增后得到用于清刷的可调均匀电子束。多次抽真空、检漏、及对该系统的烘烤处理使该系统达到真空度5×10^(-4) Pa的时间小于45min,且极限真空度优于5×10^(-5) Pa,完全满足了清刷测试的指标要求。针对负载对该真空系统抽真空难度带来的影响,定义了负载影响因子K,并在实验过程中对K值作了量化计算(K值在0.35~1.57范围内),揭示了K值与该系统抽真空难度存在的正比例关系。
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关键词
清刷测试系统
大面积mcp
面电子源
真空度
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Keywords
electron rinse and test system
large area mcp
electronic surface-emitting source
vacuum degree
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分类号
TN15
[电子电信—物理电子学]
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