多级离子注入法制备太阳选择性吸收膜

尝试采用离子注入法制备太阳选择性吸收膜层。利用多级离子注入后纵向浓度分布呈梯度分布的原理,对纯铝表面溅射Ti膜后进行了3种方案的多级N离子注入。测试了样品的吸收率和发射率,对各方案制备的样品进行了性能比较,并用X射线衍射仪分析了物相组成,用俄歇扫描系统分析了纵向元素的分布,用弯折法测试了膜层结合力。结果发现,膜层吸收率均在0.94以上,但发射率普遍偏大。太阳选择吸收性最好的样品吸收率α为0.95、发射率ε为0.21,膜层中含有TiN_(0.76)、TiN_(0.6)O_(0.4)、TiO、Al_2Ti、Al_3Ti等物相,氮元素在纵向由最表面到铝基体梯度递减,膜层与基底结合力良好。