FCC晶体外延薄膜中失配位错形成的动力学条件

运用分子动力学方法对面心立方(FCC)晶体铝外延膜的高温弛豫过程进行了三维计算机模拟。铝原子间的相互作用势采用嵌入原子法(EAM)多体势来计算。模拟结果表现了失配位错的形成现象与动力学条件的关系。分析表明,模拟中所给的动力学条件对薄膜性能有很大的影响。在失配度大小为0.06时,负失配下的铝膜比正失配下的更易于形成失配位错;失配度大小分别为0.05和0.04时,温度低于铝的熔点时不会形成失配位错;温度高于铝的熔点时负失配的铝膜比正失配的更难熔化。研究发现失配位错的形成不仅与失配度的大小和生长的温度有关,而且还与失配度符号有密切关系。