惯性器件制造中零件系列孔径检测技术

为了确保惯性器件制造质量，研制了一种误差最大变动范围小于1μm的计量器具，设计制造出了结构新颖的测量装置，通过计算和验证，合理确定测量范围和测量力，解决了高精度的小型传感器和位移传递精度高的检测技术问题，把在位检测技术提高到一个新的水平。