抓住机遇,全面推动我国MEMS的发展——访“863”MEMS重大专项总体组组长孙立宁教授

微机电系统 (MEMS )是多学科交叉融合的前言高科技技术 ,在工业、信息和通信、国防、航空航天、航海、医疗和生物工程、农业、环境和家庭服务等领域有着广阔的应用前景。