扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现

针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障。

扫描投影光刻机激光安全互锁设计及安全风险评估

针对扫描投影光刻机激光安全防护需求,在整机电气安全与诊断系统中通过硬件互锁进行了激光安全互锁设计,并提供监测报警机制,增强了光刻机产品的安全性与可靠性,达到了预期的设计目的。通过对激光安全互锁电路进行安全风险评估,达到了预期的安全性能等级PLd级,为光刻机及其衍生产品的部件安全防护提供了设计以及安全性评价参考。

砖石古塔的地震分析方法与性能提升综述

砖石古塔是我们的珍贵遗产。在中国古代,不同时期的塔有不同的特征和文化涵义。常见的形式有楼阁式塔、密檐式塔、亭阁式塔、花塔、覆钵式塔、刚宝座式等。但是随着建筑的发展,其强度也会由于很多原因而降低,如砂浆的风化,但影响最大的是地震作用。一些分析方法也被我们广泛使用,如包括基于结构宏观的简化程序、极限分析(LA)法、离散单元(DE)方法、和基于有限元(FE)的微观建模和宏观建模方法。不同的方法有不同特点,因此也有不一样的适用范围,在使用的过程中需要对症下药选择不同方法。通过不同的方法的采用,可预测建筑物的安全性能以及在不同情况下建筑物对地震响应的影响,如古塔的几何形状和场地类型等。但上述方法不足以解决具体问题,仍然需要对砖石古塔进行维修与加固。与分析方法类似,加固方法也有不同的类型,且各有各自的特点和适用面。