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用于氨氮检测的无透气膜安培型氨气微传感器及系统
被引量:
3
1
作者
卞贺明
边超
+4 位作者
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012年第2期120-124,共5页
设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片,氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修...
设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片,氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面.在微电极芯片的SU-8微池中滴入微量LiCl溶液,形成可使氨气迅速扩散到电极表面的薄层电解液.使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、线性度、灵敏度及重复性进行了测试和分析.微传感器的线性范围为0.2 mg/L~4 mg/L,线性相关系数为0.984 7,检测下限为0.2 mg/L,达到90%响应信号所需的时间在3 min以内.结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的.
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关键词
安培型氨气微传感器
无透气膜
薄液层
氨氮
下载PDF
职称材料
基于微型氨气敏感单元的氨氮检测系统研究
被引量:
5
2
作者
卞贺明
边超
+3 位作者
佟建华
孙楫舟
夏善红
韩泾鸿
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期1936-1940,共5页
设计并制备了一种具有微池薄液层结构的安培型氨气微传感器,并以此微传感器构建了氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感器为采用MEMS工艺制备的微电极芯片。在微传感器的设计中,将传统的薄层电解液与腔...
设计并制备了一种具有微池薄液层结构的安培型氨气微传感器,并以此微传感器构建了氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感器为采用MEMS工艺制备的微电极芯片。在微传感器的设计中,将传统的薄层电解液与腔体两结构融为一体,省去了腔体结构,有效减小了体积。氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面。薄层电解液选用保湿性较好的LiCl溶液。使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,线性范围0.4~5(mg/L),线性相关系数0.992,检测下限0.2(mg/L),达到90%响应信号所需的时间在2 min以内。结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的。微池薄液层的设计使传感器结构简单、便于加工,同时使氨气可以迅速扩散到电极表面,保证了传感器的响应速度。
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关键词
水质监测
氨氮
安培型氨气微传感器
薄液层
下载PDF
职称材料
题名
用于氨氮检测的无透气膜安培型氨气微传感器及系统
被引量:
3
1
作者
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012年第2期120-124,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB320300)
国家自然科学基金资助项目(60971070)
文摘
设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片,氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面.在微电极芯片的SU-8微池中滴入微量LiCl溶液,形成可使氨气迅速扩散到电极表面的薄层电解液.使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、线性度、灵敏度及重复性进行了测试和分析.微传感器的线性范围为0.2 mg/L~4 mg/L,线性相关系数为0.984 7,检测下限为0.2 mg/L,达到90%响应信号所需的时间在3 min以内.结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的.
关键词
安培型氨气微传感器
无透气膜
薄液层
氨氮
Keywords
amperometrie ammonia microsensor
membrane-free
thin liquid layer
ammonia nitrogen
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
基于微型氨气敏感单元的氨氮检测系统研究
被引量:
5
2
作者
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
夏善红
韩泾鸿
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期1936-1940,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划"973"项目(No.2009CB320300)
国家自然科学基金课题(No.60971070)资助
文摘
设计并制备了一种具有微池薄液层结构的安培型氨气微传感器,并以此微传感器构建了氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感器为采用MEMS工艺制备的微电极芯片。在微传感器的设计中,将传统的薄层电解液与腔体两结构融为一体,省去了腔体结构,有效减小了体积。氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面。薄层电解液选用保湿性较好的LiCl溶液。使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,线性范围0.4~5(mg/L),线性相关系数0.992,检测下限0.2(mg/L),达到90%响应信号所需的时间在2 min以内。结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的。微池薄液层的设计使传感器结构简单、便于加工,同时使氨气可以迅速扩散到电极表面,保证了传感器的响应速度。
关键词
水质监测
氨氮
安培型氨气微传感器
薄液层
Keywords
water quality monitoring
ammonia nitrogen
amperometric ammonia microsensor
thin liquid layer
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于氨氮检测的无透气膜安培型氨气微传感器及系统
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012
3
下载PDF
职称材料
2
基于微型氨气敏感单元的氨氮检测系统研究
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
夏善红
韩泾鸿
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
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职称材料
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