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宏微定位平台运动切换减振问题研究态势
被引量:
1
1
作者
张揽宇
高健
《制造技术与机床》
北大核心
2014年第11期48-54,共7页
高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步...
高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈。基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用。
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关键词
微
电子制造装备
宏微高速高精密定位平台
运动切换环节减振
压电陶瓷主动减振
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职称材料
超高加速宏微运动平台研发设计动态
被引量:
1
2
作者
马兵
张璐凡
+3 位作者
吕彭民
聂福全
周强
刘永刚
《机械设计》
CSCD
北大核心
2020年第S01期19-23,共5页
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文...
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文中首先分析了宏微运动平台的国内外的研究现状。其次,针对加速度与重复定位精度之间存在的相对矛盾的研究基础上,对加速度与重复定位精度提升策略进行阐明。最后,阐述了超高加速宏微运动平台的研发关键技术与未来的发展方向,为进一步超高加速宏微运动平台的创新设计提供参考建议。
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关键词
微
电子制造业
宏
微
运动
平台
超
高
加速超
精密
定位
关键技术与发展方向
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职称材料
基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统
被引量:
19
3
作者
王碧波
岳金福
+1 位作者
周泽兵
彭益武
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005年第2期137-141,共5页
设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验...
设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明,该系统定位精度优于1nm,可在0.5μm×0.5μm范围内实行任意二维纳米循迹定位.给出了半径为2.5nm的圆及外接圆半径约为5nm的五角星形的定位轨迹图.该系统基本满足高精度引力实验精确定位的需求.
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关键词
微
位移传感器
纳米
定位
系统
二维
电容
精密
0.5μm
定位
平台
外接圆半径
反馈控制
迟滞效应
压电陶瓷
定位
精度
精确
定位
引力实验
纳米级
非线性
高
精度
设计
正交
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职称材料
一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法
被引量:
14
4
作者
周丽平
孙志峻
+1 位作者
张泉
郭语
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第27期60-65,183,共6页
针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动...
针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5 nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能。同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力。
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关键词
直线超声电机
定位
平台
宏
微
驱动
大行程
精密
定位
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职称材料
基于Hexapod的精密跟瞄平台研究
被引量:
4
5
作者
李伟鹏
黄海
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期681-686,共6页
针对精密光学设备的空间应用,设计了基于并联机构的空间高稳定精密跟瞄系统。利用所设计的宏/微双重驱动复合作动器和精密铰接元件,研制了精密跟瞄Hexapod平台原理样机,考虑到精密跟瞄系统的特点,开发了包括宏动控制系统、微动控制系统...
针对精密光学设备的空间应用,设计了基于并联机构的空间高稳定精密跟瞄系统。利用所设计的宏/微双重驱动复合作动器和精密铰接元件,研制了精密跟瞄Hexapod平台原理样机,考虑到精密跟瞄系统的特点,开发了包括宏动控制系统、微动控制系统和检测系统在内的实验测试系统,并利用实验初步测试了Hexapod平台原理样机关键性能。由实验结果可知,平台原理样机的转动范围超过10°,最高开环转动速度大于5deg/s,经压电微动部分补偿后的平台静态定位误差小于5μrad,通过主动控制使扰动振幅衰减至噪声水平,可用于驱动有效载荷以较高的速度在较大范围内搜索目标并具有较好的静态定位精度和稳定性。
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关键词
HEXAPOD
跟瞄
平台
宏
微
双重驱动
精密
定位
振动控制
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职称材料
题名
宏微定位平台运动切换减振问题研究态势
被引量:
1
1
作者
张揽宇
高健
机构
广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2014年第11期48-54,共7页
基金
国家自然科学基金(U1134004)
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104)
+1 种基金
广东省高等学校科技创新重点项目(2012CXZD0020)
广东省战略性新兴产业专项(2012A080303004)
文摘
高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈。基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用。
关键词
微
电子制造装备
宏微高速高精密定位平台
运动切换环节减振
压电陶瓷主动减振
Keywords
microelectronics manufacturing equipment
macro-micro high-speed high-precision position platform
vibration damping in the positioning handover
active vibration damping based on PZT
分类号
TB535.1 [理学—声学]
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职称材料
题名
超高加速宏微运动平台研发设计动态
被引量:
1
2
作者
马兵
张璐凡
吕彭民
聂福全
周强
刘永刚
机构
长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室
河南卫华重型机械股份有限公司
山西潞安煤炭技术装备有限责任公司
河南工业大学机电工程学院
出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2020年第S01期19-23,共5页
基金
国家青年科学基金项目(51705132)
河南省科技厅自然科学项目(172102210215)
+1 种基金
河南省博士后基金和河南省教育厅自然科学项目(17A460008)
河南工业大学青年骨干教师培育计划项目
文摘
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文中首先分析了宏微运动平台的国内外的研究现状。其次,针对加速度与重复定位精度之间存在的相对矛盾的研究基础上,对加速度与重复定位精度提升策略进行阐明。最后,阐述了超高加速宏微运动平台的研发关键技术与未来的发展方向,为进一步超高加速宏微运动平台的创新设计提供参考建议。
关键词
微
电子制造业
宏
微
运动
平台
超
高
加速超
精密
定位
关键技术与发展方向
Keywords
microelectronics manufacturing industry
macro-micro motion platform
ultra-high acceleration and ultra-precise positioning
the core technology and development direction
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统
被引量:
19
3
作者
王碧波
岳金福
周泽兵
彭益武
机构
华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005年第2期137-141,共5页
基金
"973"计划资助项目(2003CB716304)
国家自然科学基金资助项目(10205005
10121503).
文摘
设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明,该系统定位精度优于1nm,可在0.5μm×0.5μm范围内实行任意二维纳米循迹定位.给出了半径为2.5nm的圆及外接圆半径约为5nm的五角星形的定位轨迹图.该系统基本满足高精度引力实验精确定位的需求.
关键词
微
位移传感器
纳米
定位
系统
二维
电容
精密
0.5μm
定位
平台
外接圆半径
反馈控制
迟滞效应
压电陶瓷
定位
精度
精确
定位
引力实验
纳米级
非线性
高
精度
设计
正交
Keywords
nano-positioning
piezoelectric ceramic actuator
capacitance sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法
被引量:
14
4
作者
周丽平
孙志峻
张泉
郭语
机构
南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第27期60-65,183,共6页
文摘
针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5 nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能。同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力。
关键词
直线超声电机
定位
平台
宏
微
驱动
大行程
精密
定位
Keywords
linear ultrasonic motors (LUSM)
positioningstage
macro/micro drive
large stroke
precision positioning
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于Hexapod的精密跟瞄平台研究
被引量:
4
5
作者
李伟鹏
黄海
机构
北京航空航天大学宇航学院
出处
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期681-686,共6页
基金
航天科技创新基金(CASC200902)
中国博士后科学基金(20090460188)
文摘
针对精密光学设备的空间应用,设计了基于并联机构的空间高稳定精密跟瞄系统。利用所设计的宏/微双重驱动复合作动器和精密铰接元件,研制了精密跟瞄Hexapod平台原理样机,考虑到精密跟瞄系统的特点,开发了包括宏动控制系统、微动控制系统和检测系统在内的实验测试系统,并利用实验初步测试了Hexapod平台原理样机关键性能。由实验结果可知,平台原理样机的转动范围超过10°,最高开环转动速度大于5deg/s,经压电微动部分补偿后的平台静态定位误差小于5μrad,通过主动控制使扰动振幅衰减至噪声水平,可用于驱动有效载荷以较高的速度在较大范围内搜索目标并具有较好的静态定位精度和稳定性。
关键词
HEXAPOD
跟瞄
平台
宏
微
双重驱动
精密
定位
振动控制
Keywords
Hexapod
Tracking and pointing platform
Macro/micro dual driving
Precise positioning
Vibration control
分类号
V41 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
宏微定位平台运动切换减振问题研究态势
张揽宇
高健
《制造技术与机床》
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
2
超高加速宏微运动平台研发设计动态
马兵
张璐凡
吕彭民
聂福全
周强
刘永刚
《机械设计》
CSCD
北大核心
2020
1
下载PDF
职称材料
3
基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统
王碧波
岳金福
周泽兵
彭益武
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005
19
下载PDF
职称材料
4
一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法
周丽平
孙志峻
张泉
郭语
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2012
14
下载PDF
职称材料
5
基于Hexapod的精密跟瞄平台研究
李伟鹏
黄海
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
下载PDF
职称材料
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