五自由度模拟靶定位工件台

五自由度模拟靶台是惯性约束聚变靶室里的预对准定位系统（简称 Ａ Ａ Ｐ），是一种空间定心的闭环控制运动体系。整台装置拟安装在直径 ３～４ｍ ，１．４×１０－ ４ Ｐａ 的高真空度的铝金属大球体内。该系统采用多处理机并行处理技术，计算机经由光栅位移传感器实现空间五维工件台的闭环控制， 靶心位置的综合定位误差 σｉ＝±２．２７μｍ 。