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用射频等离子体轰击法向无定形类金刚石碳膜掺氮
1
作者
彭补文
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第12期61-61,共1页
关键词
射频等离子体轰击法
无
定形类金刚石
碳膜
化学气相沉积
掺氮
镀膜
下载PDF
职称材料
用射频等离子体轰击法向定形类金刚石碳膜掺氮
2
《热处理》
CAS
2002年第4期44-44,共1页
关键词
射频等离子体轰击法
定形类金刚石
碳膜
掺氮
下载PDF
职称材料
题名
用射频等离子体轰击法向无定形类金刚石碳膜掺氮
1
作者
彭补文
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第12期61-61,共1页
关键词
射频等离子体轰击法
无
定形类金刚石
碳膜
化学气相沉积
掺氮
镀膜
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
用射频等离子体轰击法向定形类金刚石碳膜掺氮
2
出处
《热处理》
CAS
2002年第4期44-44,共1页
关键词
射频等离子体轰击法
定形类金刚石
碳膜
掺氮
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
用射频等离子体轰击法向无定形类金刚石碳膜掺氮
彭补文
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
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职称材料
2
用射频等离子体轰击法向定形类金刚石碳膜掺氮
《热处理》
CAS
2002
0
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职称材料
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