基板二次预对准定心定向数学模型的研究

高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中,需要进行多次基板对准,主要有:基板预对准、基板二次预对准、基板对准。为了建立基板二次预对准定心定向数学模型,基于基板二次预对准的工作原理,提出了计算定心定向的算法,对该算法进行了仿真分析,并根据输入输出建立了定心定向数学模型。该数学模型的建立,为提高二次预对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。

套管钻孔刀具结构形式研究

套管钻孔刀具,有别于普通钻头,无论是结构形式还是几何切削角度,都必须结合实际情况来确定。文章在理论指导的基础上,通过大量的切削实验证明及分析研究,提出了刀具与传动节的连接方式,改进了具有良好导向作用的定心结构,优选了不同的断屑、碎屑形式,最后确定主刃三锥角式结构为钻孔刀具的最优选择,为套管钻孔刀具的研制又提供了一种新方法,提高了套管钻孔的效率。