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数显卡尺容栅定栅母板的研制
被引量:
6
1
作者
宋健
刘文红
《计量技术》
2001年第12期25-26,共2页
关键词
数显卡尺
容
栅
定栅母板
制作
光刻原理
分度修正
激光干涉仪
下载PDF
职称材料
数显卡尺容栅定栅母板的研制
被引量:
1
2
作者
宋健
张伟宏
《机械工程师》
2001年第9期56-57,共2页
介绍了容栅定栅母板的光刻原理、光刻设备及工艺流程。
关键词
容
栅
定栅母板
光刻
曝光
数显卡尺
研制
下载PDF
职称材料
题名
数显卡尺容栅定栅母板的研制
被引量:
6
1
作者
宋健
刘文红
机构
哈尔滨量仪研究所
出处
《计量技术》
2001年第12期25-26,共2页
关键词
数显卡尺
容
栅
定栅母板
制作
光刻原理
分度修正
激光干涉仪
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
数显卡尺容栅定栅母板的研制
被引量:
1
2
作者
宋健
张伟宏
机构
哈尔滨量仪研究所
青岛海泰电气股份合作公司
出处
《机械工程师》
2001年第9期56-57,共2页
文摘
介绍了容栅定栅母板的光刻原理、光刻设备及工艺流程。
关键词
容
栅
定栅母板
光刻
曝光
数显卡尺
研制
分类号
TH82 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
数显卡尺容栅定栅母板的研制
宋健
刘文红
《计量技术》
2001
6
下载PDF
职称材料
2
数显卡尺容栅定栅母板的研制
宋健
张伟宏
《机械工程师》
2001
1
下载PDF
职称材料
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