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基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究
1
作者
谭欣
刘玉春
+2 位作者
沈天赐
麻艳娜
谷付星
《光学仪器》
2022年第6期66-72,共7页
针对目前低维材料转移方案中过程复杂和衬底适应性差的难题,提出了一种常温常压下基于柔性聚合物薄膜聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)的低维材料定点转移方法。PDMS柔性膜的受力形变是实现其与不同衬底紧密贴合的基础,针对...
针对目前低维材料转移方案中过程复杂和衬底适应性差的难题,提出了一种常温常压下基于柔性聚合物薄膜聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)的低维材料定点转移方法。PDMS柔性膜的受力形变是实现其与不同衬底紧密贴合的基础,针对不同的目标衬底,仅需要更换对应的衬底微调系统盖板,结合三维位移机械系统,即可实现一维和二维材料的通用定点转移。该方法避免了转移过程中的真空吸附及衬底加热等严格条件,降低了材料的定点转移难度并提高了其稳定性和通用性。此外该方法也可实现低维材料同质结或其它垂直结构的构建,从而极大提高低维材料结构的丰富性。
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关键词
转移
系统
定点转移
半导体纳米线
过渡金属硫化物
同质结
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职称材料
题名
基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究
1
作者
谭欣
刘玉春
沈天赐
麻艳娜
谷付星
机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
出处
《光学仪器》
2022年第6期66-72,共7页
基金
国家自然科学基金优秀青年科学基金(62122054)。
文摘
针对目前低维材料转移方案中过程复杂和衬底适应性差的难题,提出了一种常温常压下基于柔性聚合物薄膜聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)的低维材料定点转移方法。PDMS柔性膜的受力形变是实现其与不同衬底紧密贴合的基础,针对不同的目标衬底,仅需要更换对应的衬底微调系统盖板,结合三维位移机械系统,即可实现一维和二维材料的通用定点转移。该方法避免了转移过程中的真空吸附及衬底加热等严格条件,降低了材料的定点转移难度并提高了其稳定性和通用性。此外该方法也可实现低维材料同质结或其它垂直结构的构建,从而极大提高低维材料结构的丰富性。
关键词
转移
系统
定点转移
半导体纳米线
过渡金属硫化物
同质结
Keywords
transfer system
fixed-site transfer
semiconductor nanowires
transition metal dichalcogenides
homostructure
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究
谭欣
刘玉春
沈天赐
麻艳娜
谷付星
《光学仪器》
2022
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