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采用QWACS的实时扩散生产线统计工艺管理
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作者 康顺 《微电子技术》 2002年第5期27-27,共1页
目前,开发了实时半导体扩散生产线统计工艺管理(SPC:Statistical Process Control)的质量早期警报管理系统(QWACS:Quality Early Warning Alarm Control System)。
关键词 半导体 质量 QWACS 实时扩散生产线 统计工艺 管理
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