利用概率分布计算电子束聚焦状态

世界各国的学者对电子束的聚焦性能已经做了广泛的研究，提出了许多分析电子束聚焦性能的方法，在这些方法的基础上，试图利用概率分布函数来描述电子束的聚焦过程。该方法将电子的发射看做是随机过程，并从轨迹的落点的概率分析了电子束的形状和大小，避免了杂散小峰的影响。