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Daikin准备选用COF2作为室内清洁气体 被引量：2
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作者 于剑昆 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2005年第1期13-13,共1页
据日本方面报道，Daikin Industrial公司计划在Osaka县Yodogawa工厂建造一个工业规模的COF，生产装置。用在半导体化学气体沉积室(CVD)清洁设备上的这种气体已被证明是一种有很大潜力的替代物，它可用于替代现在使用的NF3和高氟化碳．
关键词 DaikinIndustrial公司 COF2 室内清洁气体 氟碳化合物
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