基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术

单波长监控很难精确控制宽波段上的光学特性 若采用宽光谱扫描可以在很宽的波长范围内监控薄膜特性 ,则控制既直观又准确 虽然宽光谱监控的思想很早就提出了 ,但这项技术的实用性一直不高 开发了一套宽光谱监控系统 ,使用线阵CCD配合计算机 ,可以实现光谱快速扫描 通过采用一些特殊的方法 ,系统可以达到较高的精度 配合改进的光学薄膜监控软件 。

光学镀膜宽光谱监控的信号压噪

使用CCD(电荷耦合器)进行光学镀膜宽光谱监控过程中,监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响,信噪比低难于准确监控。本文通过对系统前端光路改造以及后期数据数字滤波处理,达到信号压噪目的,使系统在宽光谱膜厚监控过程中具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点.

宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜的研究

高科技光电仪器的不断发展要求仪器的光谱使用范围越来越宽,从而对光学元件的薄膜特性和精度提出了更高的要求,红外超宽带减反膜就是为适应这些需求而开发的一种膜系。宽光谱监控法是镀制高精度红外超宽带减反膜的最合适、最有效的方法之一,本文根据薄膜光学的基本方法,通过膜系设计、实际的制作过程和制作结果,充分证实了这一点。

宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

本文介绍了使用宽光谱监控系统镀制增透膜的基本原理和技术特点。给出了针对不同的膜层特性计算评价函数的方法,分别为能量法和特征点法,能量法适合膜层的光学特性对每一个波长点的权重要求都是一样的,特征点法适合于只对膜层光学特性的某几个特定波长的要求较高,并根据膜料光学参数的特性,分别设置权重因子,其它波长忽略不计。用工艺曲线代替理论设计曲线作为目标曲线,解决实际镀制的光谱特性与理论值存在偏差的问题,使评价函数的极小值趋近于零,达到最佳膜厚。这种简单而准确的方法对于提高宽带增透膜镀制精度和成品率有显著的效果,具有实际的应用价值。

数字滤波在光学镀膜宽光谱监控中的应用

使用CCD(电荷耦合器件)进行光学镀膜宽光谱监控过程中,监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响,信噪比低,难于准确监控。在对系统前端光路改造的基础上,采用了数字滤波技术对后期数据进行处理,达到信号压噪目的。实验证明该宽光谱膜厚监控系统具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点。