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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 被引量:2
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作者 匡尚奇 李硕 +2 位作者 杨海贵 霍同林 周洪军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2395-2406,共12页
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EU... 极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EUV反射光谱性能。为验证离散化膜系设计在宽带EUV多层膜研制中的优越性,采用磁控溅射方法对具有离散化膜系的宽带多层膜反射镜进行了制备和测试。测试结果表明:研制的宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°~17°,高于41%的反射率;研制的堆栈宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°~18.5°,高于35%的反射率;研制的宽光谱多层膜反射镜可实现波长带宽为12.9~14.9 nm,高于21%的反射率。 展开更多
关键词 膜设计 极紫外 离散化设计 宽带
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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 被引量:4
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作者 匡尚奇 张超 +2 位作者 王一名 周祥燕 谢耀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2046-2056,共11页
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQE... 为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。 展开更多
关键词 薄膜光学 膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多
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基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
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作者 匡尚奇 张超 +3 位作者 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期46-54,共9页
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较... 提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能. 展开更多
关键词 光学多 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多 离散化设计
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宽带接入层设备故障自动派单及用户故障申告拦截系统的实现
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作者 单秀海 《现代电信科技》 2013年第1期114-117,共4页
针对目前各电信运营商宽带接入层设备维护的各种问题,提出了宽带接入层设备故障自动派单及用户故障申告拦截解决方案,并详细剖析了故障自动派单及用户故障申告拦截的流程及实现的具体细节。
关键词 宽带接入设备 自动派单 申告拦截 故障
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极紫外多层膜光栅技术研究进展 被引量:2
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作者 张立超 《光机电信息》 2011年第8期5-11,共7页
极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔... 极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景。介绍了极紫外多层膜光栅的应用;从光栅衬底制备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析;并从实际应用角度出发,对未来多层膜光栅技术研究的发展趋势作了展望。 展开更多
关键词 极紫外 膜光栅 衍射效率 宽带
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Semi-analytical solution for mechanical analysis of tunnels crossing strike-slip fault zone considering nonuniform fault displacement and uncertain fault plane position
6
作者 YANG Heng-hong WANG Ming-nian +1 位作者 YU Li ZHANG Xiao 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第6期2116-2136,共21页
The tunnel subjected to strike-slip fault dislocation exhibits severe and catastrophic damage.The existing analysis models frequently assume uniform fault displacement and fixed fault plane position.In contrast,post-e... The tunnel subjected to strike-slip fault dislocation exhibits severe and catastrophic damage.The existing analysis models frequently assume uniform fault displacement and fixed fault plane position.In contrast,post-earthquake observations indicate that the displacement near the fault zone is typically nonuniform,and the fault plane position is uncertain.In this study,we first established a series of improved governing equations to analyze the mechanical response of tunnels under strike-slip fault dislocation.The proposed methodology incorporated key factors such as nonuniform fault displacement and uncertain fault plane position into the governing equations,thereby significantly enhancing the applicability range and accuracy of the model.In contrast to previous analytical models,the maximum computational error has decreased from 57.1%to 1.1%.Subsequently,we conducted a rigorous validation of the proposed methodology by undertaking a comparative analysis with a 3D finite element numerical model,and the results from both approaches exhibited a high degree of qualitative and quantitative agreement with a maximum error of 9.9%.Finally,the proposed methodology was utilized to perform a parametric analysis to explore the effects of various parameters,such as fault displacement,fault zone width,fault zone strength,the ratio of maximum fault displacement of the hanging wall to the footwall,and fault plane position,on the response of tunnels subjected to strike-slip fault dislocation.The findings indicate a progressive increase in the peak internal forces of the tunnel with the rise in fault displacement and fault zone strength.Conversely,an augmentation in fault zone width is found to contribute to a decrease in the peak internal forces.For example,for a fault zone width of 10 m,the peak values of bending moment,shear force,and axial force are approximately 46.9%,102.4%,and 28.7% higher,respectively,compared to those observed for a fault zone width of 50 m.Furthermore,the position of the peak internal forces is influenced by variations in the ratio of maximum fault displacement of the hanging wall to footwall and the fault plane location,while the peak values of shear force and axial force always align with the fault plane.The maximum peak internal forces are observed when the footwall exclusively bears the entirety of the fault displacement,corresponding to a ratio of 0:1.The peak values of bending moment,shear force,and axial force for the ratio of 0:1 amount to approximately 123.8%,148.6%,and 111.1% of those for the ratio of 0.5:0.5,respectively. 展开更多
关键词 strike-slip fault tunnel engineering semi-analytical solution fault zone width nonuniform fault displacement uncertain fault plane position
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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 被引量:9
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作者 喻波 李春 +1 位作者 金春水 王春忠 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期154-160,共7页
针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同周期厚度和G值(Mo... 针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同周期厚度和G值(Mo层厚度与多层膜周期厚度的比值)的Mo/Si多层膜规整膜系,并利用掠入射X射线反射谱表征,分别得到多层膜周期厚度、Mo层有效厚度和Si层有效厚度与公转速度的关系式以及多层膜界面粗糙度。采用Levenberg-Marquardt算法完成了宽带膜系设计,设计结果为在16.8°~24.8°范围内R=42%±1%。根据Mo/Si多层膜周期厚度和Si层有效厚度与公转速度的对应关系制备所设计的膜系,并对其极紫外波段反射率进行测量,实验结果为在16.8°~24.8°范围内R=41.2%~43.0%,实验结果与设计结果吻合得很好,进一步的制备误差反演分析表明实验结果与设计结果之间的细微偏差主要来自Mo/Si多层膜G值及界面粗糙度标定过程中的系统误差。 展开更多
关键词 薄膜 极紫外光刻 宽带 MO/SI多
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18~20nm正入射宽带多层膜的研究 被引量:2
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作者 柯常军 王占山 +1 位作者 万重怡 曹健林 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1016-1018,共3页
采用随机数的方法在 18~ 2 0 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜 ,理论上得到了高于周期膜系 8%的积分反射率 ,同时带宽与视场范围有明显的展宽 ,并用磁控溅射法进行了初步制备。对反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周... 采用随机数的方法在 18~ 2 0 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜 ,理论上得到了高于周期膜系 8%的积分反射率 ,同时带宽与视场范围有明显的展宽 ,并用磁控溅射法进行了初步制备。对反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周期多层膜的带宽展宽 ,但峰值反射率略有降低。膜厚控制是实验的难点。 展开更多
关键词 软X射线 宽带 磁控溅射 反射率
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X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 被引量:1
9
作者 姚志华 金春水 +3 位作者 杨雄 张立超 金伟华 曹健林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1433-1435,共3页
介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数.引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了掠入射角(θ)0.5... 介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数.引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了掠入射角(θ)0.5°~0.9°范围内反射率值达到40%的宽角度宽带多层膜.宽带多层膜反射镜采用磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪对样品进行了检测,结果表明在掠入射角(2θ)1.0°~1.8°之间的相对反射率光谱曲线比较平坦. 展开更多
关键词 X射线光学 宽带 评价函数 遗传算法 磁控溅射
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具竞争力的光网络交叉连接网元
10
作者 爱思勒 《通信世界》 2002年第29期28-28,共1页
关键词 光网络 交叉连接网元 网络次化 光传输网络 宽带层
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Design of coating for broadband polarization-independent beam splitters and analysis of its optical performance
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作者 SHI Meng WU Fu-quan +1 位作者 WANG Hai-long HAO Dian-zhong 《Optoelectronics Letters》 EI 2006年第2期98-100,111,共4页
A design of coating on the entrance surface of the beam splitters with a transparent thin film of certain refractive index and thickness was presented.For this kind of beam splitters,it was possible to realize polariz... A design of coating on the entrance surface of the beam splitters with a transparent thin film of certain refractive index and thickness was presented.For this kind of beam splitters,it was possible to realize polarization-independent beam-splitting for chosen wavelength λ with incident angle .In addition,the simulation results using the coating designable software(Auto film) were consistent with the theoretical results,and the beam splitters are not sensitive to the small errors of film-thickness and film refractive-index over a broad spectra. 展开更多
关键词 电子束分流器 带宽偏振 波长
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ADAPTIVE RESOURCE ALLOCATION TECHNIQUES IN OFDMA USING CROSS-LAYER ARCHITECTURE
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作者 Yang Xiang Wei Gang 《Journal of Electronics(China)》 2005年第6期586-593,共8页
This paper utilizes the cross-layer architecture to implement adaptive resource allocation in Orthogonal Frequency Division Multiple Access (OFDMA) based on the broadband wireless access system. According to the cro... This paper utilizes the cross-layer architecture to implement adaptive resource allocation in Orthogonal Frequency Division Multiple Access (OFDMA) based on the broadband wireless access system. According to the cross-layer architecture, the information in link layer is used for adaptive resource allocation in OFMDA. A new cross-layer adaptive resource allocation algorithm is developed which can guarantee the users to be in minimum average waiting time in link-layer and get the better spectrum utilization. Numerical results show that our scheme is appealing and can get about half of average waiting time less and 0.5 bps/Hz spectrum utilization more than the scheme in 1EEE802.16a. 展开更多
关键词 Broadband Wireless Access (BWA) CROSS-LAYER Orthogonal Frequency Division Multiple Access (OFDMA) Quality of Service (QoS) Adaptive resource allocation
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基于多层膜偏振元件的软X射线磁光Faraday偏转测量
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作者 鄢芬 崔明启 +9 位作者 陈凯 孙立娟 席识博 周克瑾 郑雷 赵屹东 王占山 朱京涛 张众 赵佳 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期2860-2865,共6页
在北京同步辐射装置(BSRF)的3W1B软X射线光束线上利用自行研制的同步辐射软X射线综合偏振测量装置对Ni的M2,3边附近(60—70eV)进行了软X射线磁光(magneto-optical)法拉第效应(Faraday effect)的偏转测量,实验装置主要由起偏器,检偏器,... 在北京同步辐射装置(BSRF)的3W1B软X射线光束线上利用自行研制的同步辐射软X射线综合偏振测量装置对Ni的M2,3边附近(60—70eV)进行了软X射线磁光(magneto-optical)法拉第效应(Faraday effect)的偏转测量,实验装置主要由起偏器,检偏器,样品架,圆形钕铁硼永磁铁和MCP探测器组成,偏振元件(起偏元件和检偏元件)均采用反射式非周期性Mo/Si宽带多层膜.实验采用反射起偏和反射检偏的模式,得到一系列能量范围在60—70eV间的法拉第偏转角结果,结果表明在Ni的M2,3边附近法拉第效应最为明显,当能量为65.5eV和68eV时,Faraday偏转角分别为1.79°±0.19°(1.79°为正反向磁场偏转角大小的平均值)和-0.76°±0.09°(0.76°为正反向磁场偏转角大小的平均值). 展开更多
关键词 软X射线 磁光Faraday效应 综合偏振测量装置 宽带
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An Improved Prediction Model of Vortex Shedding Noise from Blades of Fans
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作者 DOU Huashu LI Zhehong +4 位作者 LIN Peifeng WEI Yikun CHEN Yongning CAO Wenbin HE Haijiang 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期526-531,共6页
The main source of the noise of an axial flow fan is the fluctuating pressure field on blade surfaces caused by the shedding of vortices at the trailing edge of blades.An analytical model to predict the vortex sheddin... The main source of the noise of an axial flow fan is the fluctuating pressure field on blade surfaces caused by the shedding of vortices at the trailing edge of blades.An analytical model to predict the vortex shedding noise generated at the trailing edge of blades of axial flow fans was proposed by Lee in 1993.In this model,for mathematical convenience,an idealized vortex street is considered.However,the agreement between the analytical results and the experimental data needs to be improved because of the simplification about the Karman vortex street in the wake of blade.In the present study,a modified model is proposed based on the prediction model by Lee.The boundary layer theory is used to analyze and calculate the boundary layer development on both the pressure and the suction sides of blades.Considering the effect of boundary layer separation on the location of noise source,the predicted overall sound pressure level compares favorably with the experimental data of an axial fan.In the calculation of A-weighted sound pressure level(La),considering the effect of static pressure on radiate energy,the predicted broadband noise with the modified model compares favorably with the experimental data of a multiblade centrifugal fan. 展开更多
关键词 vortex idealized Vortex broadband centrifugal street Karman Prediction fluctuating absolute
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