压电弯曲元件宽度对其特性影响的研究

研制了一种新型的压电弯曲元件,元件为三层结构,上下两层为压电陶瓷材料PZT-5H,中间弹性层为铍青铜。利用激光测试仪LC-2400A及LV-1610对压电弯曲元件的输出位移、位移滞环、蠕变量及基频等特性进行测量。对压电弯曲元件的宽度尺寸与其静、动态特性之间的关系进行分析,得出压电弯曲元件的宽度参数对其静、动态特性影响较小,且没有明显的影响规律。

快速退火对直流磁控溅射法制备的AZO薄膜性能的影响

在室温下,采用直流磁控溅射方法制备了不同厚度的氧化锌掺铝薄膜,并对样品进行了快速退火处理,退火温度为600℃,时间为60 s。研究了退火前后薄膜的结构、光电特性的变化情况。退火后,薄膜的最小电阻率为4.2×10-4Ω.cm,其透过率为90.1%。禁带宽度由退火前的3.68 eV变为3.75 eV。