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Al/GaN/Al_2O_3微纳米多层结构界面热阻实验重构
被引量:
1
1
作者
王照亮
田霞
+2 位作者
姚贵策
祝捷
唐大伟
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期2244-2247,共4页
通过GaN基微纳米器件中纳米尺度界面的热输运成为微系统热管理和热设计的热点和难点,而通过GaN/Al_2 O_3之间界面热阻尚未测试。首先采用双波长TDTR方法测量了Al膜与GaN薄膜之间的界面热阻,然后借助热阻抗网络和参数敏感性分析,利用宽频...
通过GaN基微纳米器件中纳米尺度界面的热输运成为微系统热管理和热设计的热点和难点,而通过GaN/Al_2 O_3之间界面热阻尚未测试。首先采用双波长TDTR方法测量了Al膜与GaN薄膜之间的界面热阻,然后借助热阻抗网络和参数敏感性分析,利用宽频3ω法对Al/GaN/Al_2 O_3多层薄膜结构内部界面热阻进行实验重构。两种方法测量的GaN/Al_2 O_3之间界面热阻量级相同,相互验证了测试结果的合理性。两种方法结合可实现微纳米多层结构多个热物性参数的精细描述。
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关键词
微纳米结构
界面热阻
双波长TDTR
宽频3ω法
原文传递
题名
Al/GaN/Al_2O_3微纳米多层结构界面热阻实验重构
被引量:
1
1
作者
王照亮
田霞
姚贵策
祝捷
唐大伟
机构
中国石油大学(华东)能源与动力工程系
中科院工程热物理研究所
出处
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期2244-2247,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51176205
No.U1262112)
文摘
通过GaN基微纳米器件中纳米尺度界面的热输运成为微系统热管理和热设计的热点和难点,而通过GaN/Al_2 O_3之间界面热阻尚未测试。首先采用双波长TDTR方法测量了Al膜与GaN薄膜之间的界面热阻,然后借助热阻抗网络和参数敏感性分析,利用宽频3ω法对Al/GaN/Al_2 O_3多层薄膜结构内部界面热阻进行实验重构。两种方法测量的GaN/Al_2 O_3之间界面热阻量级相同,相互验证了测试结果的合理性。两种方法结合可实现微纳米多层结构多个热物性参数的精细描述。
关键词
微纳米结构
界面热阻
双波长TDTR
宽频3ω法
Keywords
micro-nano scale structure
thermal boundary resistance
two-color TDTR
wide-frequency band
3ω
method
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Al/GaN/Al_2O_3微纳米多层结构界面热阻实验重构
王照亮
田霞
姚贵策
祝捷
唐大伟
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
原文传递
已选择
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